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J-GLOBAL ID：200903071846748377

複数のルツボを利用した有機発光素子薄膜製作のための線形蒸発源

Inventor：
盧一鎬

About 盧一鎬


Applicant, Patent owner：
株式会社 細美事

About 株式会社 細美事


Agent (1)： 稲葉 滋
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007111466
Publication number (International publication number)：2007314873
Application date： Apr. 20, 2007
Publication date： Dec. 06, 2007
Summary：
【課題】 複数のルツボを利用した有機発光素子薄膜製作のための線形蒸発源を提供する。【解決手段】 上面は開放されており、長い筒状に形成されるハウジングと、上面は開放されており、内部に蒸着用物質を入れるものであり、ハウジングに挿入される複数のルツボと、前記ルツボを加熱する加熱装置と、を備え、ルツボで蒸発された蒸着用物質がルツボの開口から広がる高さの各々異なる有機発光素子薄膜製作のための線形蒸発源。【選択図】 図3
Claim (excerpt)：
長い筒状ないし箱状に形成されるハウジングと、 上面は開放されており、内部に蒸着用物質を入れるものであり、前記ハウジングに挿入される複数のルツボと、 前記ルツボを加熱する加熱装置と、を備える有機発光素子薄膜製作のための線形蒸発源において、 各ルツボの開口の高さが各々異なり、前記ルツボで蒸発された前記蒸着用物質が前記異なる高さのルツボの開口から広がるように構成されている、有機発光素子薄膜製作のための線形蒸発源。
IPC (3)：
C23C 14/24 ,  H01L 51/50 ,  H05B 33/10
FI (4)：
C23C14/24 C ,  C23C14/24 A ,  H05B33/14 A ,  H05B33/10
F-Term (15)：
3K107AA01 ,  3K107BB01 ,  3K107CC33 ,  3K107CC42 ,  3K107GG04 ,  3K107GG34 ,  4K029AA24 ,  4K029BA62 ,  4K029BC07 ,  4K029CA01 ,  4K029DB06 ,  4K029DB12 ,  4K029DB14 ,  4K029DB18 ,  4K029EA02
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (2)

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