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J-GLOBAL ID:200903071911787890
アクティブ振動制御装置及びシステム
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (2):
山崎 宏
, 前田 厚司
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2003387926
Publication number (International publication number):2005147318
Application date: Nov. 18, 2003
Publication date: Jun. 09, 2005
Summary:
【課題】省エネルギー、大型化、高速応答性の要請に応え得るアクティブ振動制御装置を提供する。【解決手段】振動外乱Dが作用する質量体Mと設置部Lとの間に介在し、質量体Mを支持する空気ばね11を用いたアクティブ振動制御装置1において、空気ばね11内の圧力を調整する電空変換制御弁として非接触直動型スプール弁12を用いた。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
振動外乱が作用する質量体と設置部との間に介在し、上記質量体を支持する空気ばねと、
上記空気ばねと圧縮空気源との間に介在し、上記空気ばね内を上記圧縮空気源或いは大気に連通させ、或いはこの両者とは遮断する電空変換制御弁と、
上記質量体の振動状態を検出する振動センサと、
上記質量体の上記設置部からの変位状態を検出する変位センサと、
上記振動センサから検出された振動状態を示す信号を受け、この振動を打消す圧力変動を上記空気ばね内に生じさせるように上記電空変換制御弁を作動させる振動制御用駆動信号を生成する振動制御部、及び予め入力された上記質量体の目標位置と上記変位センサからの信号が示す変位状態との差を打消す圧力変動を上記空気ばね内に生じさせるように上記電空変換制御弁を作動させる位置制御用駆動信号を生成する位置制御部を有し、この両制御部で生成された信号を加算して得られた駆動信号を上記電空変換制御弁に入力し、上記質量体の変位及び振動を抑制させる演算制御器とを備えたアクティブ振動制御装置において、
上記電空変換制御弁が、上記空気ばね内に通じる負荷ポート、上記圧縮空気源に通じる供給ポート、及び大気に開口した排気ポートを有するハウジングと、上記供給ポートからの圧縮空気を導き、通過させることにより静圧軸受が外周のランド部に穿設された複数の弁体を有し、ハウジング内に非接触で進退可能に設けられたスプールであって、上記演算制御部からの入力信号に対応して上記ハウジング内での直進駆動力を生じる駆動部が一端部に設けられたスプールとを備えたスプール弁であることを特徴とするアクティブ振動制御装置。
IPC (1):
FI (1):
F-Term (7):
3J048AA05
, 3J048AB07
, 3J048AB08
, 3J048AD01
, 3J048BE02
, 3J048BF08
, 3J048DA01
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (1)
Cited by examiner (6)
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特許第2857154号
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スプール型流量制御弁及びその制御装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2001-098446
Applicant:住友重機械工業株式会社
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除振装置および半導体製造装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-193651
Applicant:キヤノン株式会社
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除振装置、露光装置及びデバイス製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-198101
Applicant:キヤノン株式会社
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特開平3-234986
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特開昭59-190504
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