Sパラメータ測定装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴木章夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995324268
Publication number (International publication number)：1997166641
Application date： Dec. 13, 1995
Publication date： Jun. 24, 1997
Summary：

【要約】【課題】 Sパラメータを測定する供試素子がハイインピーダンスの場合、測定周波数によりインピーダンスが変化され、その入出力におけるインピーダンスマッチングが不整となり、信号の損失が生じて測定精度が劣化される。【解決手段】供試素子100を保持してその電極端子に電気接続され、所定のバイアス電圧や入出力信号を供給する導体2,3や入出力コネクタ6,9及びバイアス供給端子7,8,10を備える装置内に、入力側及び出力側の各整合回路4,5を内蔵し、各整合回路4,5において供試素子100の入出力のインピーダンスマッチングをとることで広い周波数範囲において信号の損失を抑さえ、高精度にSパラメータを測定することが可能となる。整合回路4,5を金属製のベース1と押え板11との間に内装することで、供試素子100との間のシールドを行い、相互干渉や外部からの高周波ノイズの影響を防止して測定精度を向上させる。

Claim (excerpt)：

高周波デバイス等の供試素子のSパラメータを測定するために、装置内に支持した前記供試素子の各電極端子に電気接続される導体を有し、これらの導体を通して測定計器から前記供試素子にバイアスを供給し、かつ入出力間に信号を供給するSパラメータ測定装置において、前記供試素子の入力側と出力側にそれぞれ整合回路を内蔵することを特徴とするSパラメータ測定装置。

IPC (2)：

G01R 31/26 , G01R 27/28

FI (3)：

G01R 31/26 B , G01R 31/26 A , G01R 27/28 T

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

高周波素子用測定治具
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-189933 Applicant：ローム株式会社
特開昭59-126971
特開昭56-093058

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