電子増倍素子、及びこれを用いた電子増倍装置

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (3)：長谷川芳樹 , 塩田辰也 , 寺崎史朗
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003101957
Publication number (International publication number)：2004311171
Application date： Apr. 04, 2003
Publication date： Nov. 04, 2004
Summary：

【課題】実用的な電子増倍機能を実現でき、低コストで製造可能な電子増倍素子及びこれを用いた電子増倍装置を提供すること。【解決手段】本発明は、注入される加速電子の運動エネルギーに基づき光を発する蛍光体12、蛍光体12からの光に対して透明で面11aで蛍光体12を支持し面11bで光を放出する支持体11、面11bに支持され蛍光体12の光を電子に変換する光電面13を備え、蛍光体12への入射電子数より光電面13からの出射電子数が多くなるよう蛍光体12、光電面13が構成される電子増倍素子9である。この素子9は、電子を、順次光、電子に変換する。また支持体11では蛍光体12からの光損失は小さい。更に蛍光体12への注入電子数より光電面13からの放出電子数が多い。このため、支持体11に厚みをもたせ且つ実用的な電子増倍機能の実現が可能となる。また電子増倍素子9は簡単な構成なので、その製造コストはMCPに比べはるかに低くできる。【選択図】図3

Claim (excerpt)：

加速された電子が注入され、注入される電子の運動エネルギーに基づいて光を発する蛍光体と、前記蛍光体から発せられる光に対して透明であって、前記蛍光体を支持する第1面、及び前記第1面に対向し、前記第1面から入射される光を出射する第2面を有する支持体と、前記支持体の前記第2面に支持され、前記蛍光体から発せられる光を電子に変換する光電面とを備え、前記蛍光体に入射される電子数よりも前記光電面から出射される電子数が多くなるように前記蛍光体及び前記光電面が構成されている、ことを特徴とする電子増倍素子。

IPC (9)：

H01J43/06 , G01T1/20 , G01T1/202 , G01T1/28 , G01T1/29 , H01J31/12 , H01J31/48 , H01J31/50 , H01J43/04

FI (9)：

H01J43/06 , G01T1/20 B , G01T1/202 , G01T1/28 , G01T1/29 A , H01J31/12 C , H01J31/48 , H01J31/50 D , H01J43/04

F-Term (18)：

2G088FF10 , 2G088FF12 , 2G088FF14 , 2G088GG10 , 2G088GG17 , 2G088GG25 , 2G088JJ31 , 5C036EE01 , 5C036EF01 , 5C036EF06 , 5C036EG11 , 5C036EG41 , 5C036EG50 , 5C036EH04 , 5C037GG02 , 5C037GG06 , 5C037GH11 , 5C037GH20

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

透過型2次電子面及び電子管
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-064165 Applicant：浜松ホトニクス株式会社
画像増強装置及びそのための電子増倍装置
Gazette classification：公表公報 Application number：特願2006-509281 Applicant：アイティーティー・マニュファクチャリング・エンタープライジズ・インコーポレーテッド
透過型2次電子面及び電子管
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-295189 Applicant：浜松ホトニクス株式会社

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