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J-GLOBAL ID：200903072238102088
センサおよびセンサの製造方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
矢野 敏雄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996240583
Publication number (International publication number)：1997129898
Application date： Sep. 11, 1996
Publication date： May. 16, 1997
Summary：
【要約】【課題】 導電層によってセンサ素子のとくに有利な接触接続を確実にすることのできるセンサ、およびそのセンサの製造方法を提供する。【解決手段】 基板(10)とシリコン層(6)との間に導電層(3)が設けられており、該導電層は絶縁層(2)によってシリコン層(6)の部分に対して絶縁されている。
Claim (excerpt)：
基板(10)と、シリコン層(6)とを有するセンサ、例えば加速度センサであって、シリコン層(6)から可動素子が形成されており、該可動素子は基板(10)と接続されている形式のセンサにおいて、基板(10)とシリコン層(6)との間に導電層(3)が設けられており、該導電層は絶縁層(2)によってシリコン層(6)の部分に対して絶縁されている、ことを特徴とするセンサ。
IPC (2)：
FI (2)：
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (11)
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特開昭63-198378
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特表平7-507903
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特開平4-278464
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