Pat
J-GLOBAL ID:200903072725479251

微粒子

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (2): 柳瀬 睦肇 ,  渡部 温
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2004152829
Publication number (International publication number):2005334685
Application date: May. 24, 2004
Publication date: Dec. 08, 2005
Summary:
【課題】 特殊な構造を有する微粒子を提供する。【解決手段】第1の微粒子3と、第1の微粒子3の表面に被覆された該第1の微粒子より粒径の小さい超微粒子又は薄膜3aと、第1の微粒子3より粒径の大きい第2の微粒子20と、を具備し、第2の微粒子20の表面に第1の微粒子3が付着している。第1の微粒子3は、例えば内部の断面形状が多角形を有する真空容器を、断面に対して略垂直方向を回転軸として回転させることにより、該真空容器内の第1の微粒子3を攪拌或いは回転させながらスパッタリングを行うことで、表面に超微粒子又は薄膜が被覆されたものである。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
第1の微粒子と、 前記第1の微粒子の表面に被覆された薄膜と、 前記第1の微粒子より粒径の大きい第2の微粒子と、 を具備し、 前記第2の微粒子の表面に前記第1の微粒子が付着していることを特徴とする微粒子。
IPC (5):
B01J23/42 ,  B01J35/08 ,  B01J37/02 ,  C23C14/34 ,  H01M4/88
FI (5):
B01J23/42 M ,  B01J35/08 Z ,  B01J37/02 301P ,  C23C14/34 S ,  H01M4/88 K
F-Term (147):
4G042DA01 ,  4G042DA02 ,  4G042DB05 ,  4G042DB27 ,  4G042DB35 ,  4G042DC03 ,  4G042DD04 ,  4G069AA03 ,  4G069AA08 ,  4G069AA11 ,  4G069BA01B ,  4G069BB02A ,  4G069BB02B ,  4G069BB04A ,  4G069BB06A ,  4G069BC04A ,  4G069BC05A ,  4G069BC09A ,  4G069BC10A ,  4G069BC16A ,  4G069BC16B ,  4G069BC17A ,  4G069BC18A ,  4G069BC21A ,  4G069BC22A ,  4G069BC23A ,  4G069BC25A ,  4G069BC26A ,  4G069BC31A ,  4G069BC32A ,  4G069BC33A ,  4G069BC35A ,  4G069BC36A ,  4G069BC40A ,  4G069BC44A ,  4G069BC50A ,  4G069BC51A ,  4G069BC54A ,  4G069BC58A ,  4G069BC59A ,  4G069BC60A ,  4G069BC62A ,  4G069BC64A ,  4G069BC66A ,  4G069BC68A ,  4G069BC70A ,  4G069BC71A ,  4G069BC72A ,  4G069BC73A ,  4G069BC74A ,  4G069BC75A ,  4G069BC75B ,  4G069BD04A ,  4G069BD05A ,  4G069BD07A ,  4G069CC32 ,  4G069EA01X ,  4G069EA01Y ,  4G069EB18X ,  4G069EB18Y ,  4G069EC29 ,  4G069EE01 ,  4G069FA03 ,  4G069FB02 ,  4G069FB79 ,  4G169AA03 ,  4G169AA08 ,  4G169AA11 ,  4G169BA01B ,  4G169BB02A ,  4G169BB02B ,  4G169BB04A ,  4G169BB06A ,  4G169BC04A ,  4G169BC05A ,  4G169BC09A ,  4G169BC10A ,  4G169BC16A ,  4G169BC16B ,  4G169BC17A ,  4G169BC18A ,  4G169BC21A ,  4G169BC22A ,  4G169BC23A ,  4G169BC25A ,  4G169BC26A ,  4G169BC31A ,  4G169BC32A ,  4G169BC33A ,  4G169BC35A ,  4G169BC36A ,  4G169BC40A ,  4G169BC44A ,  4G169BC50A ,  4G169BC51A ,  4G169BC54A ,  4G169BC58A ,  4G169BC59A ,  4G169BC60A ,  4G169BC62A ,  4G169BC64A ,  4G169BC66A ,  4G169BC68A ,  4G169BC70A ,  4G169BC71A ,  4G169BC72A ,  4G169BC73A ,  4G169BC74A ,  4G169BC75A ,  4G169BC75B ,  4G169BD04A ,  4G169BD05A ,  4G169BD07A ,  4G169CC32 ,  4G169EA01X ,  4G169EA01Y ,  4G169EB18X ,  4G169EB18Y ,  4G169EC29 ,  4G169EE01 ,  4G169FA03 ,  4G169FB02 ,  4G169FB79 ,  4K029AA07 ,  4K029AA11 ,  4K029AA22 ,  4K029BA02 ,  4K029BA13 ,  4K029BA21 ,  4K029BA43 ,  4K029BA64 ,  4K029BB01 ,  4K029BD00 ,  4K029CA06 ,  4K029CA17 ,  4K029DA01 ,  4K029DA08 ,  4K029DC01 ,  5H018AA01 ,  5H018AS01 ,  5H018BB01 ,  5H018BB07 ,  5H018EE03 ,  5H018EE04 ,  5H018EE05 ,  5H018EE12 ,  5H018HH01
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (7)
Show all
Article cited by the Patent:
Return to Previous Page