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J-GLOBAL ID：200903072942126545
プラズマ密度情報測定用プローブ
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
杉谷 勉
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000006433
Publication number (International publication number)：2001196199
Application date： Jan. 14, 2000
Publication date： Jul. 19, 2001
Summary：
【要約】【課題】アンテナを動かさずに、プラズマ表面波共鳴周波数を読み取る。【解決手段】本発明では、アンテナ3の先端側に誘電体領域である空気層5と導電体領域である金属層6とを備えることで、吸収ポイントが高周波側または低周波側にシフトする両特性が互いに相殺する。従ってアンテナ3の先端部の長さを変化させても吸収ポイントはシフトしないので、一回の測定のみでプラズマ表面波共鳴周波数を求めることができる。さらには、低次と高次の吸収ポイントが収束して、吸収の大きなポイントが得られるので、プラズマ表面波共鳴周波数における吸収ポイントを容易に読み取ることができる。
Claim (excerpt)：
先端が閉じられている誘電体製外皮と、誘電体製外皮内に収容されて高周波パワーを放射するアンテナと、アンテナの先端寄りに配設されている誘電体領域と、誘電体領域よりもさらにアンテナの先端寄りに配設されている導電体領域とを備えていることを特徴とするプラズマ密度情報測定用プローブ。
IPC (2)：
FI (2)：
H05H 1/00 A
, G01N 22/00 Z
