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J-GLOBAL ID:200903073285785734
静電チャック
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001132725
Publication number (International publication number):2002329776
Application date: Apr. 27, 2001
Publication date: Nov. 15, 2002
Summary:
【要約】【課題】シリコンウエハ等の被加工物の温度分布が均一になるように吸着保持することができるとともに、被加工物の離脱性に優れ、かつ吸着時や離脱時におけるパーティクルの発生の少ない静電チャックを提供する。【解決手段】板状セラミック体2の内部又は一方の主面に静電吸着用電極を有する静電チャックにおいて、上記板状セラミック体2の他方の主面に、ガス溝を設け、板状セラミック体2を切断した時の吸着面6の形状を、中央に平坦部10を有する略円弧状凸部8とし、この略円弧状凸部8とガス溝側面9との交点Sから略円弧状凸部8の平坦部10までの高さ(H1)を0.5〜10μmとする。
Claim (excerpt):
板状セラミック体の一方の主面又は内部に静電吸着用電極を備えるとともに、上記板状セラミック体の他方の主面にガス溝を備え、上記ガス溝で囲まれる領域を吸着面とした静電チャックにおいて、上記板状セラミック体を切断した時の吸着面の形状が、中央に平坦部を有する略円弧状凸部をなし、該略円弧状凸部とガス溝側面との交点から略円弧状凸部の平坦部までの高さが0.5〜10μmであることを特徴とする静電チャック。
IPC (6):
H01L 21/68
, C23C 14/50
, C23C 16/44
, H01L 21/205
, H01L 21/3065
, B23Q 3/15
FI (6):
H01L 21/68 R
, C23C 14/50 A
, C23C 16/44 B
, H01L 21/205
, B23Q 3/15 D
, H01L 21/302 B
F-Term (29):
3C016GA10
, 4K029AA06
, 4K029CA01
, 4K029CA03
, 4K029CA05
, 4K029JA01
, 4K030CA04
, 4K030GA02
, 4K030KA45
, 4K030LA15
, 5F004AA14
, 5F004BB22
, 5F004BB29
, 5F004DA22
, 5F031CA02
, 5F031HA05
, 5F031HA08
, 5F031HA16
, 5F031HA34
, 5F031HA35
, 5F031HA39
, 5F031MA28
, 5F031MA29
, 5F031MA32
, 5F031NA05
, 5F031PA26
, 5F045BB02
, 5F045BB15
, 5F045EM05
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)
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基板の吸着保持装置およびその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-111166
Applicant:キヤノン株式会社
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静電チャック
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-218259
Applicant:日本碍子株式会社
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