静電チャック

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：杉村暁秀 (外8名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996218259
Publication number (International publication number)：1997134951
Application date： Aug. 20, 1996
Publication date： May. 20, 1997
Summary：

【要約】【課題】被処理物を吸着するための静電チャックにおいて、高温領域でも、絶縁膜における漏れ電流を減少させ、同時に、被処理物の吸着力を十分に高く保持できるようにすること。【解決手段】静電チャックは、基体18と、絶縁性誘電層40と、基体と絶縁性誘電層との間に形成されている電極9とを備えている。電極9上に絶縁性誘電層40を介して被処理物41を吸着するように構成されており、絶縁性誘電層40の平均厚さqが0.5mm以上、5.0mm以下である。また、絶縁性誘電層の吸着面18aに開口するガス導入孔42が少なくとも絶縁性誘電層に形成されており、吸着面18a側にガス分散用凹部24Aが形成されており、ガス分散用凹部24Aの深さが100μm以上、5.0mm以下である。

Claim (excerpt)：

被処理物を吸着するための静電チャックであって、基体と、絶縁性誘電層と、前記基体と前記絶縁性誘電層との間に形成されている電極とを備えており、前記電極上に前記絶縁性誘電層を介して前記被処理物を吸着するように構成されており、前記絶縁性誘電層の平均厚さが0.5mm以上、5.0mm以下であることを特徴とする、静電チャック。

IPC (4)：

H01L 21/68 , B23Q 3/15 , H01L 21/3065 , H02N 13/00

FI (4)：

H01L 21/68 R , B23Q 3/15 D , H02N 13/00 D , H01L 21/302 B

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

静電チャック
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-070162 Applicant：信越化学工業株式会社
静電チヤツク
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-301834 Applicant：日本碍子株式会社
静電チャック及びこの静電チャックを用いた被吸着体の処理方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-298388 Applicant：東陶機器株式会社, 日電アネルバ株式会社

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