ガラス板研磨パッドとガラス板の研磨方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：泉名謙治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996101612
Publication number (International publication number)：1997011119
Application date： Apr. 23, 1996
Publication date： Jan. 14, 1997
Summary：

【要約】【課題】従来より大幅に少ない研磨加工量でうねりが少なく、かつ傷やマイクロクラックが浅く少ないガラス表面を得る。また、ドレッシングを省略する。【解決手段】材料試験規格に基づいて測定されたヤング率が1GPa以上で厚さが0.5〜10mmの高分子シート1の表面の主要な領域に幅0.1〜2.0mmの溝2が溝幅の2〜10倍のピッチで形成されているガラス板用研磨パッドを使用する。

Claim (excerpt)：

ガラス板の表面を研磨する研磨パッドであって、材料試験規格に基づいて測定されたヤング率が1GPa以上で厚さが0.5〜10mmの高分子シートからなり、表面の主要な領域に幅0.1〜2.0mmの溝が溝幅の2〜10倍のピッチで形成されていることを特徴とするガラス板用研磨パッド。

IPC (2)：

B24B 37/00 , B24D 11/00

FI (2)：

B24B 37/00 C , B24D 11/00 A

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (33)

特開昭59-142059
特開昭59-142059
特公平4-005687

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