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J-GLOBAL ID:200903073819079202
回転率センサ
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
矢野 敏雄 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1996191072
Publication number (International publication number):1997033557
Application date: Jul. 19, 1996
Publication date: Feb. 07, 1997
Summary:
【要約】【課題】 回転率センサにおいて、振動子の変位をストッパを設けることによって制限し、それによってセンサの運転の信頼性及びセンサの強靭性を高めることができるようにする。【解決手段】 このため振動子(4)の変位を制限するストッパが、多層基板(10)から組織パターン加工されている。
Claim (excerpt):
多層基板から成る回転率センサであって、下方の珪素層(1)上には絶縁作用を有する犠牲層(2)が、該犠牲層(2)上には上方の珪素層(3)がそれぞれ装着されており、多層基板から振動ビーム(5)に懸吊された振動子(4)が組織パターン加工されており、振動子(4)を励振して第1の方向の振動を発生させるための手段が設けられており、振動子(4)の上には加速度センサ(25)が配置されている形式のものにおいて、多層基板(10)から、振動子(4)の変位を制限するストッパ(41,42,43)が組織パターン加工されていることを特徴とする回転率センサ。
IPC (2):
FI (2):
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (10)
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角速度センサ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-143148
Applicant:株式会社村田製作所
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加速度センサ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-153806
Applicant:株式会社村田製作所
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微小可動機械とその作製方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-014405
Applicant:日本電気株式会社
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半導体加速度センサ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-304166
Applicant:松下電工株式会社
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共振型振動素子
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-343537
Applicant:株式会社村田製作所
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加速度センサ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-250432
Applicant:ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
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加速度センサ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-324031
Applicant:株式会社日立製作所
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特開平3-049267
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多次元加速度検出器
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-046489
Applicant:株式会社神戸製鋼所
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半導体力学センサ及びその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-273202
Applicant:日本電装株式会社
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