Pat
J-GLOBAL ID：200903073898252798
原子間力顕微鏡のための垂直力検出用カンチレバー
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
工業技術院機械技術研究所長
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999063354
Publication number (International publication number)：2000258332
Application date： Mar. 10, 1999
Publication date： Sep. 22, 2000
Summary：
【要約】【課題】 AFMのための垂直力検出用カンチレバーを、曲げ剛性に影響を与えることなくねじり剛性を向上させ、ねじり変形の影響を受けないで垂直力を検出可能にする。【解決手段】 被験試料1の表面に対して平行に向く複数枚の平行な板ばね3を間隔を置いて対向配置することによりカンチレバー本体2を構成する。その基端をAFMに取り付けたベース7に固定し、カンチレバー本体2の先端部分にブロック状をなすヘッド4を設ける。そのヘッド4の試料1側に向いている面にプローブ5を設け、カンチレバー本体2の変位または角度を検出可能にする。
Claim (excerpt)：
被験試料の表面に対して平行に向く複数枚の互いに平行な板ばねを、間隔を置いて対向配置し、それらの板ばねの両端を相互に拘束することによりカンチレバー本体を構成し、その基端を原子間力顕微鏡に取り付けたベースに固定可能にすると共に、それらのカンチレバー本体の先端部分にブロック状をなすヘッドを設け、そのヘッドの試料側に向いている面にプローブを設け、カンチレバー本体に変位・角度検出手段を設けた、ことを特徴とする原子間力顕微鏡のための垂直力検出用カンチレバー。
IPC (2)：
FI (2)：
G01N 37/00 G
, G01B 21/30 Z
2F069AA60
, 2F069DD30
, 2F069GG04
, 2F069GG06
, 2F069HH04
, 2F069HH30
, 2F069LL03
, 2F069LL06
