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J-GLOBAL ID：200903073970965206

高出力ArFエキシマレーザー用合成石英ガラス部材およびその製造方法

Inventor： 周 忠華 ,  新保 優 ,  生野 浩人
Applicant, Patent owner： 東芝セラミックス株式会社
Agent (1)： 鈴江 武彦 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999368360
Publication number (International publication number)：2001180963
Application date： Dec. 24, 1999
Publication date： Jul. 03, 2001
Summary：

【要約】【課題】この発明は、VAD法で製造された合成石英ガラスが高純度であることと、OH基濃度およびH2 濃度が低いけれども均質であることに着目して、これに別途OH基およびH2 を添加して高純度でしかもOH基およびH2 濃度が均一でしかも高い合成石英とし、これによって高出力ArFエキシマレーザーに耐えるVAD法による合成石英ガラスを得ようとするものである。【解決手段】VAD法で製造された高純度合成石英ガラスであって、合成石英ガラス中のOH基濃度が500〜1500ppm、H2 濃度が1×1017〜1019molecule/cm3 である高出力ArFエキシマレーザー用合成石英ガラス。

Claim (excerpt)：

VAD法で製造された高純度合成石英ガラスであって、合成石英ガラス中のOH基濃度が500〜1500ppm、H2 濃度が1×1017〜1019molecule/cm3 である高出力ArFエキシマレーザー用合成石英ガラス。

IPC (4)：

C03C 3/06 ,  C03B 8/04 ,  C03B 20/00 ,  H01S 3/223

FI (5)：

C03C 3/06 ,  C03B 8/04 P ,  C03B 8/04 L ,  C03B 20/00 F ,  H01S 3/223 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (4)

• 石英ガラス光学部材
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-221254   Applicant：株式会社ニコン
• 石英ガラス、それを含む光学部材、並びにその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-000809   Applicant：株式会社ニコン
• 合成石英ガラスの製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-213901   Applicant：住友電気工業株式会社
• 耐紫外線レーザー用光学部材の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-343507   Applicant：信越石英株式会社

Cited by examiner (4)

• 石英ガラス光学部材
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-221254   Applicant：株式会社ニコン
• 石英ガラス、それを含む光学部材、並びにその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-000809   Applicant：株式会社ニコン
• 合成石英ガラスの製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-213901   Applicant：住友電気工業株式会社
• 耐紫外線レーザー用光学部材の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-343507   Applicant：信越石英株式会社