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J-GLOBAL ID:200903073973149434

触覚センサおよびこれを用いた指紋センサ

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 若林 忠 (外4名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1997201827
Publication number (International publication number):1999044587
Application date: Jul. 28, 1997
Publication date: Feb. 16, 1999
Summary:
【要約】【課題】 小型、薄型で、かつ、高感度で安定な指紋の検出を可能にする指紋センサを提供すること。【解決手段】 指紋情報を電気的信号に変換して出力する指紋センサにおいて、電界効果型トランジスタのソース領域とドレイン領域の間のチャネル領域上に、絶縁膜を隔てて弾性絶縁体と導電体が順次積層された複数の触覚センサと、前記複数の触覚センサのそれぞれと直列接続されて複数のソースフォロア回路を形成する定電流源の機能を持つトランジスタと、前記複数のソースフォロア回路を電源に接続する第1のスイッチング素子と、前記複数の触覚センサの出力としてのソース電圧を共通の出力端子に接続する第2のスイッチング素子とを有する。
Claim (excerpt):
電界効果型トランジスタのソース領域とドレイン領域の間のチャネル領域上に、絶縁膜を隔てて弾性絶縁体と導電体が順次積層され、前記弾性絶縁体は積層方向の寸法が該積層方向に垂直な方向の寸法よりも大きなことを特徴とする触覚センサ。
IPC (4):
G01L 1/18 ,  G01L 5/00 101 ,  H01L 29/78 ,  H01L 29/84
FI (4):
G01L 1/18 ,  G01L 5/00 101 Z ,  H01L 29/84 C ,  H01L 29/78 301 J
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (6)
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