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J-GLOBAL ID：200903074021081301

ステージ位置計測装置

Inventor：
高木 伸一

About 高木 伸一


Applicant, Patent owner：
株式会社ニコン

About 株式会社ニコン


Agent (1)： 山口 孝雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994228817
Publication number (International publication number)：1996069964
Application date： Aug. 30, 1994
Publication date： Mar. 12, 1996
Summary：
【要約】【目的】 計測値の温度揺らぎの発生を抑えて、高い計測精度を有するステージ位置計測装置を提供すること。【構成】 本発明においては、チャンバ内に収容された移動可能なステージと、該ステージの位置を光学的に計測するための計測手段と、前記チャンバ内の雰囲気を全体的に空調するための全体空調手段と、前記計測手段の光路を局部的に空調するための局部空調手段とを備え、前記光路における空気温度が前記光路の近傍における雰囲気温度とほぼ一致するように前記局部空調手段を制御するための制御手段をさらに備えている。
Claim (excerpt)：
チャンバ内に収容された移動可能なステージと、該ステージの位置を光学的に計測するための計測手段と、前記チャンバ内の雰囲気を全体的に空調するための全体空調手段と、前記計測手段の光路を局部的に空調するための局部空調手段とを備え、前記光路における空気温度が前記光路の近傍における雰囲気温度とほぼ一致するように前記局部空調手段を制御するための制御手段をさらに備えていることを特徴とするステージ位置計測装置。
IPC (3)：
H01L 21/027 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/68
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (5)
  • 投影露光装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-319138   Applicant：株式会社ニコン
  • ステージの位置計測装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-079594   Applicant：株式会社ニコン
  • 位置合わせ装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-034608   Applicant：松下電器産業株式会社
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