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J-GLOBAL ID：200903074147479149

角速度センサ

Inventor： 森屋 和文 ,  長谷川 友保 ,  高田 英一 ,  柴野 富雄 ,  大澤 哲夫
Applicant, Patent owner： 株式会社村田製作所
Agent (1)： 広瀬 和彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996027294
Publication number (International publication number)：1997196687
Application date： Jan. 22, 1996
Publication date： Jul. 31, 1997
Summary：

【要約】【課題】 互いに直交するX軸,Y軸の2軸周りの角速度を検出する。【解決手段】 基板22上に固定された各支持部24には、支持梁25を介して枠状の振動子26を設け、振動子26内には柱状電極33を基板22に固着して設ける。また、振動子26の左,右側にはX軸変位検出部31,31と前,後側にはY軸変位検出部32,32が形成されている。ここで、振動子26と柱状電極33との間に振動駆動信号が印加されると、この間に静電引力が発生し、振動子26はZ軸方向に振動する。このとき、Y軸周りの角速度ΩY が加わると、振動子26はコリオリ力によってX軸に変位し、この変位をX軸変位検出部31で検出し、X軸周りの角速度ΩX が加わると、振動子26はコリオリ力によってY軸に変位し、この変位をY軸変位検出部32で検出でき、X軸,Y軸の2軸周りの角速度ΩX ,ΩY をそれぞれ検出できる。

Claim (excerpt)：

基板と、該基板に設けられた支持部と、基端側が該支持部に設けられた支持梁と、前記基板の表面から離間した状態で該支持梁の先端側に設けられ、前記基板に対してX軸,Y軸,Z軸方向からなる3軸方向に変位可能な振動子と、該振動子をZ軸方向に振動させる振動発生手段と、該振動発生手段によって前記振動子にZ軸方向の振動を与えている状態で、X軸周りまたはY軸周りの角速度によって振動子がY軸方向またはX軸方向に変位するときの変位量を検出する変位検出手段とから構成してなる角速度センサ。

IPC (2)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04

FI (2)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特表平6-508684
  
• 慣性センサー
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-049519   Applicant：株式会社東芝
• 角速度センサ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-114291   Applicant：株式会社村田製作所