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J-GLOBAL ID：200903074585371555

膜厚測定方法及び装置

Inventor：
表 和彦

About 表 和彦

, 
姫田 章宏

About 姫田 章宏


Applicant, Patent owner：
株式会社リガク

About 株式会社リガク


Agent (1)： 鈴木 利之
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004019783
Publication number (International publication number)：2005214712
Application date： Jan. 28, 2004
Publication date： Aug. 11, 2005
Summary：
【課題】密度が近い隣接層が存在するなどの理由でX線反射率法による膜厚測定ができない場合でも,配向性を考慮した回折X線強度の理論ロッキングカーブを測定ロッキングカーブにパラメータフィッティングすることで,X線回折法によって薄膜の膜厚を測定可能にする。【解決手段】薄膜の表面に対して入射角αでX線を入射して回折X線の強度を測定し,入射角αを変化させて測定ロッキングカーブを得る。一方,薄膜の配向密度分布関数ρを考慮して理論ロッキングカーブを計算する。既知の膜厚の標準試料についてあらかじめ求めておいたスケール因子を用いて,配向密度分布関数ρの特性パラメータと,薄膜の膜厚tとを変化させて,理論ロッキングカーブが測定ロッキングカーブに最も合致するように,パラメータフィッティングを実施し,これによって膜厚tを決定する。【選択図】図6
Claim (excerpt)：
次の段階を備える膜厚測定方法。 (ア)多結晶材料からなる薄膜を準備する段階。 (イ)前記薄膜の表面の法線方向の周りに軸対称となる配向密度分布関数ρを仮定する段階。この配向密度分布関数ρは,前記薄膜の結晶子の被測定格子面の法線が薄膜の表面の法線に対して傾斜する角度φについての関数であり,かつ,関数の形を特徴づける特性パラメータを含んでいる。 (ウ)前記薄膜の表面に対して入射角αでX線を入射して,薄膜の前記被測定格子面で反射した回折X線の強度を測定し,入射角αを変化させて前記被測定格子面からの回折X線の強度の変化を求めて,測定ロッキングカーブを得る段階。 (エ)既知の膜厚の標準試料についてあらかじめ求めておいたスケール因子と,前記配向密度分布関数ρと,前記薄膜の膜厚tとに基づいて,理論的な回折X線強度を計算して,入射角αを変化させたときの前記被測定格子面からの回折X線の強度の変化についての理論ロッキングカーブを求める段階。 (オ)前記理論ロッキングカーブが前記測定ロッキングカーブに最も合致するように前記特性パラメータと前記膜厚tとを変化させてパラメータフィッティングを実施し,これによって前記膜厚tを決定する段階。
IPC (2)：
G01B15/02 ,  G01N23/20
FI (2)：
G01B15/02 Z ,  G01N23/20
F-Term (28)：
2F067AA27 ,  2F067FF01 ,  2F067HH04 ,  2F067JJ03 ,  2F067KK09 ,  2F067NN09 ,  2F067PP13 ,  2F067RR19 ,  2F067RR31 ,  2G001AA01 ,  2G001BA15 ,  2G001BA18 ,  2G001CA01 ,  2G001FA02 ,  2G001FA29 ,  2G001GA01 ,  2G001GA13 ,  2G001JA01 ,  2G001JA06 ,  2G001JA08 ,  2G001JA11 ,  2G001KA11 ,  2G001KA20 ,  2G001LA11 ,  2G001MA05 ,  2G001NA07 ,  2G001PA12 ,  2G001SA02
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (4)
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