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J-GLOBAL ID：200903074641606773
ビーム走査波形整形方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
山本 惠二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995227341
Publication number (International publication number)：1997055179
Application date： Aug. 11, 1995
Publication date： Feb. 25, 1997
Summary：
【要約】【課題】 作成した走査信号波形の正当性を簡単にかつ瞬時に判定することができるように改善したビーム走査波形整形方法を提供する。【解決手段】 走査電磁石64における磁界の時間的変化分を検出する検出コイル70を設けておく。そして、波形整形後更に、当該波形整形によって新たに作成された波形の走査信号W(t)に基づいて走査電磁石64を駆動し、その時の走査電磁石64における磁界の時間的変化分を検出コイル70によって検出し、それからの検出信号Sを、波形整形・制御器40において、予め設定された基準データと比較し、両者の差によって、作成された波形の正当性を判定する。
Claim (excerpt)：
初期の走査信号に基づいて走査電流または走査電圧を作成してそれを用いて走査手段において磁界または電界によってイオンビームを走査し、このようにして走査されるイオンビームを電気的に検出してその走査位置の時間的変化をイオンビームの上流側および下流側についてそれぞれ求め、その結果に基づいて、イオンビームの上流側および下流側での計測位置とターゲットとの位置関係からターゲット上でのイオンビームの走査位置の時間的変化を求め、そしてこのターゲット上でのイオンビームの走査位置の時間的変化が一定になるように、前記走査信号の波形を整形して新たな波形の走査信号を作成するビーム走査波形整形方法において、前記走査手段における磁界または電界の時間的変化分を検出する検出器を設けておき、波形整形後更に、当該波形整形によって新たに作成された波形の走査信号に基づいて前記走査手段を駆動し、その時の同走査手段における磁界または電界の時間的変化分を前記検出器によって検出し、この検出器からの検出信号を、予め設定された基準データと比較し、両者の差によって、作成された波形の正当性を判定することを特徴とするビーム走査波形整形方法。
IPC (2)：
H01J 37/147
, H01J 37/317
H01J 37/147 E
, H01J 37/317 A
Cited by applicant (6)
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Cited by examiner (10)
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