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J-GLOBAL ID：200903074849954570

複数検出器顕微鏡検査システム

Inventor：
ランゲ・スティーブン・アール.

About ランゲ・スティーブン・アール.


Applicant, Patent owner：
ケーエルエー-テンカー テクノロジィース コーポレイション

About ケーエルエー-テンカー テクノロジィース コーポレイション


Agent (1)： 特許業務法人明成国際特許事務所
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2003566881
Publication number (International publication number)：2005517217
Application date： Feb. 06, 2003
Publication date： Jun. 09, 2005
Summary：
【解決手段】 高スループットレートで試料(112)を検査できる顕微鏡検査システム(100)が説明される。この検査システムは、1つより多い検出器アレイ(116)および大きい視野を利用して半導体ウェーハの表面をスキャンすることによって高スループットレートを達成する。顕微鏡検査システムは、また、高拡大能力、高開口数、および大きい視野を有する。1つより多い検出器アレイを用いることによって、半導体ウェーハ上のそれぞれのストライプ状スキャンのあいだウェーハのより大きい表面領域が検査されえ、それによりスワスオーバヘッド時間を最小化し、システムをより効率的にできる。顕微鏡検査システムは、より大きい視野を有するよう構成されることによって、複数の検出器アレイが適切に利用されえる。さらに検出器アレイを検査システムの物理的制約の中で収めるために反射および/または屈折表面の特別構成が用いられる。
Claim (excerpt)：
試料を検査する顕微鏡検査装置であって、 前記試料の近傍に配置された高倍率および第1端を有する対物レンズ、 前記顕微鏡検査装置の視野、および 実質的に前記視野内に配置された1つより多い検出器アレイ を備える顕微鏡検査装置。
IPC (2)：
G02B21/00 ,  G01N21/956
FI (2)：
G02B21/00 ,  G01N21/956 A
F-Term (20)：
2G051AA51 ,  2G051AB02 ,  2G051AC30 ,  2G051BA05 ,  2G051BB01 ,  2G051BB07 ,  2G051BB11 ,  2G051BC05 ,  2G051CA03 ,  2G051CB01 ,  2G051CC09 ,  2G051CC11 ,  2H052AB05 ,  2H052AB06 ,  2H052AC04 ,  2H052AC12 ,  2H052AC27 ,  2H052AF02 ,  2H052AF11 ,  2H052AF14
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (14)
  • 特開平2-188711
  • 特開平2-188711
  • 特開平2-188711
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