共焦点顕微鏡

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：石田敬 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998340399
Publication number (International publication number)：2000162506
Application date： Nov. 30, 1998
Publication date： Jun. 16, 2000
Summary：

【要約】【課題】自動焦点化が可能な共焦点顕微鏡を提供する。【解決手段】共焦点顕微鏡の被検査物表面からの反射光の分離光の光路上にビームスプリッタ9を追加配置し、光検出器7の表面上に光が焦点化されているときには、第2の光検出器11による検出光量と、第3の光検出器13による検出光量との光量差が所定量となるように、且つ、光検出器7の表面上に光が焦点化されていないときには、第2の光検出器11による検出光量と、第3の光検出器13による検出光量との光量差が所定量とは異なる光量であるようにし、光量差が所定量になるように被検査物位置を自動制御する。反射光の光路上にビームスプリッタを更に設けるか、焦点位置を光源から遠ざけるための光学系を挿入してもよい。

Claim (excerpt)：

被検査物(4)からの反射光を検出する光検出器(7)と、前記被検査物(4)からの反射光を二方向に分離するビームスプリッタ(9,52,81)と、該ビームスプリッタにより分離された二方向の光の光量差を検出する光量差検出手段(30a,30b,30c)とを備え、前記光量差検出手段は、前記光検出器(7)の表面上に前記被検査物からの反射光が焦点化されているときは、前記光量差として所定量を検出し、前記光検出器(7)の表面上に前記被検査物からの反射光が焦点化されていないときは、前記光量差として前記所定量とは異なる値を検出するものであり、前記光量差検出手段の出力が前記所定量になるように前記光検査物の位置を制御するようにした共焦点顕微鏡。

IPC (5)：

G02B 21/00 , G01B 11/30 102 , G02B 7/04 , G02B 7/28 , G02B 21/06

FI (5)：

G02B 21/00 , G01B 11/30 102 Z , G02B 21/06 , G02B 7/04 C , G02B 7/11 N

F-Term (38)：

2F065AA02 , 2F065BB02 , 2F065CC20 , 2F065FF01 , 2F065FF10 , 2F065GG12 , 2F065HH04 , 2F065HH13 , 2F065JJ01 , 2F065JJ22 , 2F065LL12 , 2F065LL30 , 2F065PP02 , 2F065QQ25 , 2F065UU02 , 2H044BB05 , 2H044BB07 , 2H044BB08 , 2H051AA11 , 2H051BA53 , 2H051BA68 , 2H051CA06 , 2H051CA09 , 2H051CA10 , 2H051CB02 , 2H051CB06 , 2H051DB01 , 2H051DD20 , 2H052AA07 , 2H052AA08 , 2H052AB06 , 2H052AB24 , 2H052AC04 , 2H052AC15 , 2H052AC29 , 2H052AD09 , 2H052AD18 , 2H052AF06

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

オートフォーカス顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-024246 Applicant：オリンパス光学工業株式会社
焦点検出装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-141450 Applicant：株式会社ニコン
光学測定装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-320897 Applicant：オリンパス光学工業株式会社

Show all

Return to Previous Page