Pat
J-GLOBAL ID:200903074994016902
微細周期性溝の観測方法とその観測装置、微細周期性溝の加工観測方法とその加工観測装置
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2006137157
Publication number (International publication number):2007309710
Application date: May. 17, 2006
Publication date: Nov. 29, 2007
Summary:
【課題】 微細周期性溝の溝間隔を高精度に観測及び加工観測できる微細周期性溝の観測方法と装置及び加工観測方法と装置を提供するものである。【解決手段】フェムト秒レーザ加工機で表面加工された微細周期性溝M1における溝間隔の観測に際して、微細周期性溝M1に垂直面方向又は任意な斜め方向に入射される測定用レーザの波長λと、上記測定用レーザの回折光L2の回折角度βと、上記回折角度の回折光をキャッチする受光器20の測定次数mと、上記微細周期性溝M1の溝間隔dとの関係する理論式d(sinα±sinβ)=mλから求めた測定次数mに、受光器20を配置して溝間隔dを視覚またはデータとして観測する微細周期性溝の観測方法である。【選択図】図1
Claim (excerpt):
フェムト秒レーザ加工機等で表面加工された微細周期性溝の観測に際して、上記微細周期性溝に対して垂直面方向又は任意な斜め方向から入射される測定用レーザの入射角度αおよびその波長λと、上記測定用レーザの回折光の回折角度βと、上記回折角度の回折光をキャッチする受光器の測定次数mと、上記微細周期性溝の溝間隔dとの理論式d(sinα±sinβ)=mλから求めた測定次数mに、受光器を配置して溝間隔dを実測確認することを特徴とする微細周期性溝の観測方法。
IPC (1):
FI (1):
F-Term (18):
2F065AA22
, 2F065BB02
, 2F065CC03
, 2F065CC11
, 2F065FF48
, 2F065GG04
, 2F065GG05
, 2F065GG06
, 2F065HH04
, 2F065HH13
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065LL04
, 2F065LL12
, 2F065QQ03
, 2F065QQ23
, 2F065SS13
, 2F065UU05
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (1)
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表面検査装置および方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2003-305598
Applicant:松下電器産業株式会社
Cited by examiner (13)
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光ディスク原盤の溝パラメータ測定方法・測定装置、製造方法、及び、現像方法・現像装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-329616
Applicant:株式会社リコー
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特開平3-254113
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特開昭64-083390
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特開昭62-160726
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光ディスク検査装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-019780
Applicant:日本ビクター株式会社
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サブミクロン粒子の平均粒径の高精度決定方法とこの方法を実施する装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2002-262459
Applicant:独立行政法人物質・材料研究機構
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結晶化膜の評価方法及びその装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2004-003607
Applicant:株式会社日本製鋼所
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回折格子の位置合わせ方法及び回折格子の位置合わせ装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2002-195078
Applicant:日本板硝子株式会社
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識別票つきのフォトマスク基板及びフォトマスク及びその識別方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2003-300921
Applicant:凸版印刷株式会社
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レーザアブレーション
Gazette classification:公表公報
Application number:特願2002-540891
Applicant:ミクマクモアンパーツゼルスカブ
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特開平3-254113
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特開昭64-083390
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特開昭62-160726
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