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J-GLOBAL ID：200903075159543051

ダイボンディング用接着剤及び半導体装置の製造方法

Inventor：
藤井 真二郎

About 藤井 真二郎


Applicant, Patent owner：
日立化成工業株式会社

About 日立化成工業株式会社


Agent (1)： 若林 邦彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998278509
Publication number (International publication number)：2000104040
Application date： Sep. 30, 1998
Publication date： Apr. 11, 2000
Summary：
【要約】【課題】 ウエハ裏面に接着剤を熱圧着する際、300μm以下のウェハでもクラックが発生せず、反りは小さく、また、幅広い温度で接着剤をウェハに接着でき、かつ簡単な装置でダイボンディングできる接着剤及びこの接着剤を用いた半導体装置の製造方法を提供する。【解決手段】 ガラス転移温度90°C以下の熱可塑性ポリイミド樹脂及び熱硬化性樹脂を含有してなるダイボンディング用接着剤並びに多数の半導体素子が形成されたウェハ裏面に、ガラス転移温度90°C以下の熱可塑性ポリイミド樹脂と熱硬化性樹脂からなるフィルム状単層接着剤を熱圧着して接着剤付ウエハとし、得られた接着剤付ウエハをダイシングテープに貼り付け固着して個別半導体素子に分割切断後、前記ダイシングテープを剥離して得られる接着剤付き半導体素子を支持部材にダイボンディングすることを特徴とする半導体装置の製造方法。
Claim (excerpt)：
ガラス転移温度90°C以下の熱可塑性ポリイミド樹脂及び熱硬化性樹脂を含有してなるダイボンディング用接着剤。
IPC (5)：
C09J179/08 ,  C09J 7/00 ,  C09J163/00 ,  C09J201/00 ,  H01L 21/52
FI (5)：
C09J179/08 Z ,  C09J 7/00 ,  C09J163/00 ,  C09J201/00 ,  H01L 21/52 E
F-Term (40)：
4J004AA02 ,  4J004AA11 ,  4J004AA13 ,  4J004AA17 ,  4J004AB03 ,  4J004AB05 ,  4J004CA04 ,  4J004CA06 ,  4J004CC02 ,  4J004FA05 ,  4J004FA08 ,  4J040EB032 ,  4J040EC061 ,  4J040EC062 ,  4J040EC071 ,  4J040EC072 ,  4J040EC151 ,  4J040EC152 ,  4J040EC332 ,  4J040EH031 ,  4J040EH032 ,  4J040HC15 ,  4J040HC18 ,  4J040HC24 ,  4J040HD22 ,  4J040HD39 ,  4J040JA09 ,  4J040JB02 ,  4J040KA16 ,  4J040KA17 ,  4J040LA02 ,  4J040LA06 ,  4J040NA20 ,  4J040PA30 ,  4J040PA33 ,  5F047BA39 ,  5F047BB03 ,  5F047BB18 ,  5F047FA08 ,  5F047FA25
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
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