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J-GLOBAL ID:200903075208650853
放射線変換基板、放射線撮影装置および放射線撮影システム
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
山下 穣平
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2002265572
Publication number (International publication number):2004103934
Application date: Sep. 11, 2002
Publication date: Apr. 02, 2004
Summary:
【課題】蛍光体層と防湿保護層との層間剥離を防止する。【解決手段】少なくとも、放射線透過性基板11上に、放射線を光に変換する、ハロゲン化アルカリと発光付活剤からなる蛍光体層12、および防湿保護層を積層してなる放射線変換基板において、防湿保護層が、シラン系化合物をモノマーとする第一のプラズマ重合膜13と、含フッ素化合物不飽和炭化水素をモノマーとする第二のプラズマ重合膜14とから形成されている。この放射線変換基板と、光電変換素子を有するセンサ基板とを貼り合わせて放射線撮影装置を構成する。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
少なくとも、放射線透過性基板上に、放射線を光に変換する蛍光体層、および防湿保護層を積層してなる放射線変換基板において、該防湿保護層がシラン系化合物をモノマーとする第一のプラズマ重合膜と、含フッ素化合物不飽和炭化水素をモノマーとする第二のプラズマ重合膜とから形成されていることを特徴とする放射線変換基板。
IPC (3):
H01L27/14
, A61B6/00
, G01T1/20
FI (4):
H01L27/14 D
, A61B6/00 300S
, G01T1/20 L
, H01L27/14 K
F-Term (24):
2G088EE02
, 2G088FF02
, 2G088GG19
, 2G088JJ09
, 2G088JJ35
, 4C093CA41
, 4C093EB12
, 4C093EB17
, 4C093FH06
, 4M118AB01
, 4M118BA05
, 4M118CA02
, 4M118CA31
, 4M118CA32
, 4M118CB06
, 4M118CB11
, 4M118EA01
, 4M118EA20
, 4M118FB03
, 4M118FB09
, 4M118FB13
, 4M118HA23
, 4M118HA24
, 4M118HA25
Patent cited by the Patent:
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