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J-GLOBAL ID：200903075661251781

反射ミラー、露光装置及びデバイス製造方法

Inventor：
桑原 世治

About 桑原 世治


Applicant, Patent owner：
キヤノン株式会社

About キヤノン株式会社


Agent (1)： 藤元 亮輔
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005034108
Publication number (International publication number)：2006220903
Application date： Feb. 10, 2005
Publication date： Aug. 24, 2006
Summary：
【課題】 広波長帯域に対して高い反射率を有すると共に、所定の波長帯域におけるP偏光反射成分とS偏光反射成分との間の位相差を制御することを可能とした反射ミラー及び露光装置を提供する。【解決手段】反射ミラ-は、基板上に、金属膜層と、1.35乃至1.55の屈折率を有する第1の誘電体膜と1.85乃至2.4の屈折率を有する第2の誘電体膜とを交互に金属膜層上に積層した誘電体膜層とから構成される9層以上の多層膜を有し、金属膜層は、70nm以上の物理膜厚を有し、各誘電体膜層の膜厚は、波長λに対して、基板側の第1層から順に、(0.5乃至1)×λ/4、(2乃至3.5)×λ/4、(1乃至1.5)×λ/4、(1乃至1.8)×λ/4、(0.7乃至1.8)×λ/4、(1.3乃至1.5)×λ/4、(1.3乃至2)×λ/4、(0.9乃至1.5)×λ/4、(1.8乃至2.8)×λ/4、(0.1乃至0.5)×λ/4である。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
基板上に、金属膜層と、1.35乃至1.55の屈折率を有する第1の誘電体膜と1.85乃至2.4の屈折率を有する第2の誘電体膜とを交互に前記金属膜層上に積層した誘電体膜層とから構成される9層以上の多層膜を有し、光を反射する反射ミラーであって、 前記金属膜層は、70nm以上の物理膜厚を有し、 前記誘電体膜層は、前記光の波長λに対して、前記基板側から順に、 (0.5乃至1)×λ/4の光学膜厚を有する第1の層と、 (2乃至3.5)×λ/4の光学膜厚を有する第2の層と、 (1乃至1.5)×λ/4の光学膜厚を有する第3の層と、 (1乃至1.8)×λ/4の光学膜厚を有する第4の層と、 (0.7乃至1.8)×λ/4の光学膜厚を有する第5の層と、 (1.3乃至1.5)×λ/4の光学膜厚を有する第6の層と、 (1.3乃至2)×λ/4の光学膜厚を有する第7の層と、 (0.9乃至1.5)×λ/4の光学膜厚を有する第8の層と、 (1.8乃至2.8)×λ/4の光学膜厚を有する第9の層と、 (0.1乃至0.5)×λ/4の光学膜厚を有する第10の層とを有することを特徴とする反射ミラー。
IPC (5)：
G02B 5/08 ,  G02B 5/30 ,  G02F 1/133 ,  G03F 7/20 ,  H01L 21/027
FI (6)：
G02B5/08 A ,  G02B5/30 ,  G02F1/1335 520 ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/30 515D ,  H01L21/30 517
F-Term (24)：
2H042DA08 ,  2H042DA12 ,  2H042DA14 ,  2H042DB02 ,  2H042DC02 ,  2H042DE07 ,  2H042DE09 ,  2H049BA06 ,  2H049BA43 ,  2H049BB42 ,  2H049BB63 ,  2H049BC21 ,  2H091FA07X ,  2H091FA07Z ,  2H091FA14X ,  2H091FA14Z ,  2H091FB08 ,  2H091FC10 ,  2H091GA01 ,  2H091LA30 ,  5F046BA05 ,  5F046CB02 ,  5F046CB25 ,  5F046DA12
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (3)
  • 特開平4-340905号公報
  • 特開昭58-55901号公報
  • 特開昭61-38443号公報
Cited by examiner (6)
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