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J-GLOBAL ID：200903075746750647

弾性表面波素子

Inventor： 山之内 和彦 ,  金子 明 ,  鈴木 由文 ,  鈴木 幸俊 ,  橘 敬久 ,  今西 正夫
Applicant, Patent owner： 山之内 和彦 ,  ヤマハ株式会社
Agent (1)： 志賀 正武 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998292646
Publication number (International publication number)：1999191721
Application date： Oct. 14, 1998
Publication date： Jul. 13, 1999
Summary：

【要約】【課題】 電気機械結合係数K2 を大きくすることにより広帯域化と高効率化が図れ、高周波帯域でも使用可能な低コストの弾性表面波素子を提供する。【解決手段】 KNbO3 に対する格子整合性を持つSrTiO3 等の単結晶バルク材料からなる下地基板12の上に、KNbO3 単結晶からなる厚さ500nm程度の圧電体層13が積層されている。そして、圧電体層13の上面にAl等の金属からなるすだれ状の入力側電極14a、出力側電極14bが形成されている。

Claim (excerpt)：

KNbO3 単結晶が成長するようなバルク材料からなる下地基板と、該下地基板上に積層されたKNbO3 単結晶からなる圧電体層と、該圧電体層の上面または下面に設けられた電極層、を有することを特徴とする弾性表面波素子。

IPC (2)：

H03H 9/25 ,  H03H 9/145

FI (2)：

H03H 9/25 C ,  H03H 9/145 C

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 表面弾性波素子
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-222475   Applicant：住友電気工業株式会社
• (020)配向ペロブスカイト型ニオブ酸カリウム薄膜及び該薄膜を有する弾性表面波素子
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-285418   Applicant：山之内和彦, 日本山村硝子株式会社
• 圧電素子基板とその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-224539   Applicant：東洋通信機株式会社