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J-GLOBAL ID：200903076087964274

マイクロマシンスイッチおよびその製造方法

Inventor：
鈴木 健一郎

About 鈴木 健一郎

, 
丸本 恒久

About 丸本 恒久


Applicant, Patent owner：
日本電気株式会社

About 日本電気株式会社


Agent (1)： 山川 政樹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000101624
Publication number (International publication number)：2000348594
Application date： Dec. 22, 1998
Publication date： Dec. 15, 2000
Summary：
【要約】【課題】 接触電極の反りを抑制する。【解決手段】 基板上に設けられた第1の信号線と、前記基板上に設けられかつ前記第1の信号線の端部から所定のギャップを隔てて端部の設けられた第2の信号線との間の導通/非導通を制御するマイクロマシンスイッチにおいて、前記基板上に前記ギャップと近接して設けられた支持部材によって前記基板上に支持された可撓性の梁部材と、この梁部材の前記基板側における少なくとも前記ギャップと対向する位置に設けられた接触電極と、前記基板上に前記梁部材の一部と対向して設けられた下部電極と、前記梁部材に前記下部電極と対向して設けられた中間電極とを備え、前記梁部材は、前記接触電極が設けられた面の反対側の面に、前記接触電極と対向して補強部材が設けられているものである。
Claim (excerpt)：
基板上に設けられた第1の信号線と、前記基板上に設けられかつ前記第1の信号線の端部から所定のギャップを隔てて端部の設けられた第2の信号線との間の導通/非導通を制御するマイクロマシンスイッチにおいて、前記基板上に前記ギャップと近接して設けられた支持部材によって前記基板上に支持された可撓性の梁部材と、この梁部材の前記基板側における少なくとも前記ギャップと対向する位置に設けられた接触電極と、前記基板上に前記梁部材の一部と対向して設けられた下部電極と、前記梁部材に前記下部電極と対向して設けられた中間電極とを備え、前記梁部材は、前記接触電極が設けられた面の反対側の面に、前記接触電極と対向して補強部材が設けられていることを特徴とするマイクロマシンスイッチ。
IPC (6)：
H01H 59/00 ,  B81B 3/00 ,  H01H 49/00 ,  H01L 29/84 ,  H01P 1/10 ,  H01Q 3/26
FI (6)：
H01H 59/00 ,  B81B 3/00 ,  H01H 49/00 Z ,  H01L 29/84 Z ,  H01P 1/10 ,  H01Q 3/26 Z
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (8)
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