静電継電器および静電継電器の製造方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：青山葆 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995343569
Publication number (International publication number)：1997180616
Application date： Dec. 28, 1995
Publication date： Jul. 11, 1997
Summary：

【要約】【課題】生産性が高く、動作特性にバラツキのない静電継電器およびその製造方法を提供することにある。【解決手段】固定接点ブロック10と可動接点ブロック30との対向面のうち、固定接点ブロック10の周辺縁部に、可動片32の動作空間を確保するためのスペーサ部20を一体に形成した。

Claim (excerpt)：

絶縁性基板の上面に固定接点および駆動用電極を設けた固定接点ブロックと、この固定接点ブロックに対向するように配した半導体結晶基材のウェハに、前記駆動用電極に接離可能に対向する可動片を設けた可動接点ブロックとからなり、前記駆動用電極および可動片間に電圧を印加して生じる静電引力で前記可動片を板厚方向に回動し、この可動片の下面先端縁部に設けた可動接点を前記固定接点ブロックの固定接点に接離する静電継電器において、前記固定接点ブロックおよび可動接点ブロックの対向面のうち、少なくともいずれか一方の周辺縁部に、前記可動片の動作空間を確保するためのスペーサ部を一体に形成したことを特徴とする静電継電器。

IPC (2)：

H01H 59/00 , H01H 49/00

FI (2)：

H01H 59/00 , H01H 49/00 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

静電型マイクロリレーの製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-169149 Applicant：株式会社島津製作所
静電型マトリクスリレー
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-308019 Applicant：松下電工株式会社
リレー
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-006843 Applicant：松下電工株式会社

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