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J-GLOBAL ID：200903076327721773

新規アニオン交換体を搭載したクリーンボックス

Inventor：
藤原 邦夫

About 藤原 邦夫

, 
武田 収功

About 武田 収功

, 
関口 英明

About 関口 英明


Applicant, Patent owner：
株式会社荏原製作所

About 株式会社荏原製作所


Agent (1)： 社本 一夫 (外5名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001156972
Publication number (International publication number)：2002353300
Application date： May. 25, 2001
Publication date： Dec. 06, 2002
Summary：
【要約】【課題】 吸着物質の再放出やアミン汚染などの問題を引き起こすことなく、半導体ウエハを清浄環境で保管・移送することのできるクリーンボックスを提供する。【解決手段】 本発明に係るクリーンボックスは、有機高分子基材の主鎖上に、ハロゲン化アルキル基をベンゼン環上にもつスチレン系化合物から誘導されたグラフト重合体側鎖を有し、該グラフト重合体側鎖上に、1つの3級アミノ基と、更に1つ以上の1級、2級又は3級アミノ基及び/又は4級アンモニウム基を有するポリアミン化合物から誘導される官能基が導入されていることを特徴とするアニオン交換体が搭載されていることを特徴とする。
Claim (excerpt)：
有機高分子基材の主鎖上に、ハロゲン化アルキル基をベンゼン環上にもつスチレン系化合物から誘導されたグラフト重合体側鎖を有し、該グラフト重合体側鎖上に、1つの3級アミノ基と、更に1つ以上の1級、2級又は3級アミノ基及び/又は4級アンモニウム基を有するポリアミン化合物から誘導される官能基が導入されていることを特徴とするアニオン交換体が搭載されていることを特徴とするクリーンボックス。
IPC (10)：
H01L 21/68 ,  B01D 53/02 ,  B01J 41/12 ,  B65D 85/86 ,  C08F291/00 ,  C08J 5/20 103 ,  C08J 5/20 CER ,  D06M 14/28 ZAB ,  B01J 20/26 ,  C08L 51:00
FI (10)：
H01L 21/68 T ,  B01D 53/02 Z ,  B01J 41/12 Z ,  C08F291/00 ,  C08J 5/20 103 ,  C08J 5/20 CER ,  D06M 14/28 ZAB ,  B01J 20/26 A ,  C08L 51:00 ,  B65D 85/38 R
F-Term (64)：
3E096AA03 ,  3E096BA15 ,  3E096BB03 ,  3E096CA01 ,  3E096EA02X ,  3E096FA08 ,  4D012BA01 ,  4D012CA20 ,  4D012CB01 ,  4D012CG01 ,  4D012CG04 ,  4F071AA01X ,  4F071AA15X ,  4F071AA22X ,  4F071AA77 ,  4F071AA78 ,  4F071AC12 ,  4F071AD01 ,  4F071AF55 ,  4F071AG02 ,  4F071AH05 ,  4F071AH12 ,  4F071FA04 ,  4F071FC11 ,  4F071FD04 ,  4G066AC14B ,  4G066AD06B ,  4G066AD07B ,  4G066AD10B ,  4G066BA03 ,  4G066BA16 ,  4G066DA03 ,  4G066EA20 ,  4G066FA07 ,  4J026AA12 ,  4J026AA13 ,  4J026AA25 ,  4J026AA26 ,  4J026BA08 ,  4J026BB01 ,  4J026DB05 ,  4J026DB32 ,  4J026DB36 ,  4J026EA10 ,  4J026FA08 ,  4J026GA01 ,  4J026GA08 ,  4L033AA05 ,  4L033AB01 ,  4L033AB05 ,  4L033AB07 ,  4L033AC10 ,  4L033AC15 ,  4L033BA04 ,  4L033BA45 ,  4L033BA48 ,  4L033BA86 ,  4L033BA87 ,  4L033CA13 ,  4L033CA57 ,  5F031CA02 ,  5F031DA08 ,  5F031EA14 ,  5F031NA03
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
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