基板収納装置及び基板の収納方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：竹村壽
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998341793
Publication number (International publication number)：2000174109
Application date： Dec. 01, 1998
Publication date： Jun. 23, 2000
Summary：

【要約】【課題】内部で使用されるケミカルフィルタの性能を維持させながら、密閉空間内で半導体基板が持ち込むガス状不純物が除去され、かつ高清浄度雰囲気を効率的に維持できる収納装置及びこの収納装置を用いて半導体基板の搬送時もしくは基板の保管時に清浄度を維持する半導体基板収納方法を提供する。【解決手段】半導体基板1を収納する筐体3空間の雰囲気(Air)を循環させる換気ファン7と、この筐体内に配置されこの雰囲気に含まれるガス状不純物を吸着するケミカルフィルタ6とを備えており、筐体内の相対湿度は5乃至40%に維持されている。半導体基板を保管している間に発生する集積回路の配線を断線してしまう問題(コロージョン)や厚い自然酸化膜が形成されてしまう問題を同時に解決することができる。湿度を制御することにより、ケミカルフィルタの能力を維持させることができる。

Claim (excerpt)：

基板を収納する空間を蓋により密閉する筐体と、前記空間の雰囲気を循環させる雰囲気循環装置と、前記筐体内に配置され、前記雰囲気に含まれる不純物を吸着するケミカルフィルタと、携帯用電源とを備え、前記空間は相対湿度が5乃至40%にあることを特徴とする基板収納装置。

F-Term (10)：

5F031CA02 , 5F031CA05 , 5F031DA01 , 5F031DA09 , 5F031EA02 , 5F031MA28 , 5F031NA02 , 5F031NA04 , 5F031NA15 , 5F031NA20

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (5)

特開平4-045333
可搬式密閉コンテナ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-011674 Applicant：神鋼電機株式会社
特開平1-216551

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Cited by examiner (10)

特開平4-045333
可搬式密閉コンテナ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-011674 Applicant：神鋼電機株式会社
特開平1-216551

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