感放射線性樹脂組成物

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：大島正孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997130053
Publication number (International publication number)：1998319587
Application date： May. 20, 1997
Publication date： Dec. 04, 1998
Summary：

【要約】【課題】フォーカス許容性、感度および解像度の優れた、高集積回路製造用ポジ型レジストとして有用な感放射線性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】アルカリ可溶性フェノール樹脂とキノンジアジド化合物を含有する感放射線性樹脂組成物において、該アルカリ可溶性フェノール樹脂はp-クレゾールを必須成分とするフェノール類とアルデヒド類との縮合物であり、且つ該アルカリ可溶性フェノール樹脂は、パーメチル化α-シクロデキストリンを含有するシリコーン相を内面に有するキャピラリーカラムを使用した熱分解ガスクロマトグラフにより熱分解温度670°Cで測定した場合、熱分解生成物として検出されるp-クレゾールのピーク面積値Xと2,4-ジメチルフェノールのピーク面積値Yとの間に、X/Y≧2.0の関係がある感放射線性樹脂組成物。

Claim (excerpt)：

アルカリ可溶性フェノール樹脂とキノンジアジド化合物を含有する感放射線性樹脂組成物において、該アルカリ可溶性フェノール樹脂はp-クレゾールを必須成分とするフェノール類とアルデヒド類との縮合物であり、且つ該アルカリ可溶性フェノール樹脂は、パーメチル化α-シクロデキストリンを含有するシリコーン相を内面に有するキャピラリーカラムを使用した熱分解ガスクロマトグラフにより熱分解温度670°Cで測定した場合、熱分解生成物として検出されるp-クレゾールのピーク面積値Xと2,4-ジメチルフェノールのピーク面積値Yとの間に、X/Y≧2.0の関係があることを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (4)：

G03F 7/023 511 , G03F 7/022 , G03F 7/039 501 , H01L 21/027

FI (4)：

G03F 7/023 511 , G03F 7/022 , G03F 7/039 501 , H01L 21/30 502 R

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

高度にオルソ-オルソ結合したノボラックバインダー樹脂および放射線感受性組成物中のその利用
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-094115 Applicant：オー・シー・ジー・マイクロエレクトロニツク・マテリアルズ・インコーポレイテツド
感放射線性樹脂組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-185683 Applicant：日本合成ゴム株式会社
ポジ型ホトレジスト組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-166618 Applicant：東京応化工業株式会社

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