感光性樹脂組成物及びそれを用いたパターン形成方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：野河信太郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997214852
Publication number (International publication number)：1999052572
Application date： Aug. 08, 1997
Publication date： Feb. 26, 1999
Summary：

【要約】【課題】パターン形成後に、膜減りがなく、基材の材質に影響されない感光性樹脂組成物を提供することを課題とする。【解決手段】有機溶媒に可溶なポリイミド樹脂、光重合性不飽和化合物、光重合開始剤及び有機溶媒を少なくとも含む感光性樹脂組成物であって、光重合性不飽和化合物がエポキシアクリレート又は1分子内に3つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する(メタ)アクリル酸系化合物であることを特徴とする感光性樹脂組成物により上記課題を解決する。

Claim (excerpt)：

有機溶媒に可溶なポリイミド樹脂、光重合性不飽和化合物、光重合開始剤及び有機溶媒を少なくとも含む感光性樹脂組成物であって、光重合性不飽和化合物がエポキシアクリレート又は1分子内に3つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する(メタ)アクリル酸系化合物であることを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (11)：

G03F 7/038 504 , C08F 2/44 , C08L 79/08 , G03F 7/004 501 , G03F 7/027 502 , G03F 7/027 515 , G03F 7/037 501 , G03F 7/09 501 , G03F 7/40 501 , H01L 21/027 , H01L 21/312

FI (11)：

G03F 7/038 504 , C08F 2/44 C , C08L 79/08 , G03F 7/004 501 , G03F 7/027 502 , G03F 7/027 515 , G03F 7/037 501 , G03F 7/09 501 , G03F 7/40 501 , H01L 21/312 B , H01L 21/30 502 R

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

特開平2-000639
感光性樹脂組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-190155 Applicant：チッソ株式会社
特開平2-000870

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