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J-GLOBAL ID:200903076941771191
反射防止膜及びその製造方法
Inventor:
,
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (2):
廣田 浩一
, 流 良広
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2006147232
Publication number (International publication number):2007004155
Application date: May. 26, 2006
Publication date: Jan. 11, 2007
Summary:
【課題】大面積化が容易であり、低い反射率を有する反射防止膜及び該反射防止膜を効率良く、低コストで製造する方法の提供。【解決手段】微細突起構造を有する反射防止膜である。該微細突起構造が、自己組織化により作製したハニカム状多孔質フィルムを厚み方向で分割してなる態様、規則的に配列してなる態様、平面視において、任意の第1の突起における先端と、該第1の突起に隣接する少なくとも2つの突起における先端とが、共に第1の直線上に位置し、かつ、前記第1の突起に隣接する第2の突起における先端と、該第2の突起に隣接し、前記第1の突起に隣接する少なくとも2つの突起とは異なる、少なくとも2つの突起における先端とが、共に第2の直線上に位置する態様、第1の直線と第2の直線とが略平行である態様、などが好ましい。【選択図】図1
Claim (excerpt):
微細突起構造を有することを特徴とする反射防止膜。
IPC (4):
G02B 1/11
, G02B 5/30
, B29C 41/28
, G09F 9/00
FI (4):
G02B1/10 A
, G02B5/30
, B29C41/28
, G09F9/00 313
F-Term (28):
2H049BA05
, 2H049BB65
, 2K009AA01
, 2K009CC21
, 2K009CC23
, 2K009CC42
, 2K009DD02
, 2K009DD06
, 4F205AA45
, 4F205AC05
, 4F205AG01
, 4F205AG20
, 4F205AH33
, 4F205AH73
, 4F205AR06
, 4F205GA07
, 4F205GB02
, 4F205GC07
, 4F205GF24
, 4F205GN13
, 4F205GN21
, 4F205GN29
, 5G435AA02
, 5G435AA17
, 5G435GG11
, 5G435HH03
, 5G435KK07
, 5G435KK10
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (6)
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