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J-GLOBAL ID:200903077293818442

研磨方法及び研磨装置並びに磁気記録媒体用ガラス基板及び磁気記録媒体

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 藤村 康夫
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998288854
Publication number (International publication number):1999221742
Application date: Sep. 26, 1998
Publication date: Aug. 17, 1999
Summary:
【要約】【課題】 ガラス基板表面の高清浄化を高いレベルで達成しうる研磨方法及び研磨装置等の提供する。【解決手段】 中心部に円孔を有する円板状のガラス基板(MD基板1)を遊離砥粒を含有した研磨液50に浸漬し、前記ガラス基板の内周端面を、遊離砥粒を含有した研磨液を用いて研磨ブラシ4又は研磨パッドと回転接触させて研磨する。
Claim (excerpt):
中心部に円孔を有する円板状体の内周端面及び/又は外周端面を、遊離砥粒を含有した研磨液を用いて研磨することを特徴とする研磨方法。
IPC (5):
B24B 5/04 ,  B24B 5/313 ,  C03C 19/00 ,  G11B 5/82 ,  G11B 5/84
FI (5):
B24B 5/04 ,  B24B 5/313 Z ,  C03C 19/00 A ,  G11B 5/82 ,  G11B 5/84 A
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (9)
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