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J-GLOBAL ID：200903077330698215

化学増幅ポジ型レジスト材料

Inventor： 竹村 勝也 ,  土谷 純司 ,  石原 俊信
Applicant, Patent owner： 信越化学工業株式会社
Agent (1)： 小島 隆司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996094845
Publication number (International publication number)：1996334900
Application date： Mar. 25, 1996
Publication date： Dec. 17, 1996
Summary：

【要約】【解決手段】 ポリシロキサンの末端シラノール基がトリメチルシリル基で保護された下記組成式(1)で示されるポリシロキサン(A)と酸発生剤(B)とを含有することを特徴とする化学増幅ポジ型レジスト材料。 R(OSiMe3)aSiO(3-a)/2 ...(1)【化1】【効果】 本発明の化学増幅ポジ型レジスト材料は、遠紫外線、電子線、X線等の高エネルギー線に対して高い感度を有し、アルカリ水溶液で現像することによりパターン形成でき、微細加工技術に適するものである。

Claim (excerpt)：

ポリシロキサンの末端シラノール基がトリメチルシリル基で保護された下記組成式(1)で示されるポリシロキサン(A)と酸発生剤(B)とを含有することを特徴とする化学増幅ポジ型レジスト材料。 R(OSiMe3)aSiO(3-a)/2 ...(1)【化1】

IPC (5)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/075 511 ,  H01L 21/027

FI (5)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/075 511 ,  H01L 21/30 502 R

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

• ポジ型レジスト材料
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-294009   Applicant：日本電信電話株式会社
• 放射線感応性樹脂組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-124774   Applicant：沖電気工業株式会社

Cited by examiner (2)

• 放射線感応性樹脂組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-124774   Applicant：沖電気工業株式会社
• ポジ型レジスト材料
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-294009   Applicant：日本電信電話株式会社