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J-GLOBAL ID：200903077441063430

走査プローブの力制御方法

Inventor： スーザン フィリッパ ジャービス ,  ウルス デューリック ,  マーク アルフレッド ランツ
Applicant, Patent owner： 技術研究組合オングストロームテクノロジ研究機構 ,  インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
Agent (1)： 福田 武通 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998183976
Publication number (International publication number)：2000019092
Application date： Jun. 30, 1998
Publication date： Jan. 21, 2000
Summary：

【要約】【課題】走査型プローブ顕微鏡などに用いる走査プローブの力制御方法を提供する。【解決手段】走査プローブを任意の力で制御するシステムにおいて、フィードバックループの帯域幅を上記走査プローブのカンチレバーの一次共振周波数より高く設定して使用する。

Claim (excerpt)：

走査プローブを磁気力、静電気力などの任意の力で制御するシステムにおいて、フィードバックループの帯域幅が上記走査プローブのカンチレバーの一次共振周波数より高く設定して使用することを特徴とする走査プローブの力制御方法。

IPC (3)：

G01N 13/16 ,  G01N 13/10 ,  G01B 21/30

FI (3)：

G01N 37/00 F ,  G01N 37/00 H ,  G01B 21/30 Z

F-Term (7)：

2F069AA57 ,  2F069CC06 ,  2F069GG01 ,  2F069GG02 ,  2F069GG62 ,  2F069HH04 ,  2F069MM21

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 磁場制御による走査プローブ顕微鏡
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-344903   Applicant：工業技術院長, 技術研究組合オングストロームテクノロジ研究機構, 松下電器産業株式会社
• 表面電位測定装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-009536   Applicant：株式会社日立製作所
• 特開昭47-027653