ファブリペロー型素子

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006255895
Publication number (International publication number)：2008076749
Application date： Sep. 21, 2006
Publication date： Apr. 03, 2008
Summary：

【課題】光学反射膜間の距離の制御が容易であると共に光学反射膜の傾きを抑えることが可能なファブリペロー型素子を実現する。【解決手段】ファブリペロー型素子において、表面の中央部に第1の光学反射膜が形成され両端にシリコン膜が形成されると共にこのシリコン膜上に第1の金薄膜が形成された第1の基板と、表面の中央部に第2の光学反射膜が形成されると共に両端に第2の金薄膜が形成され第2の光学反射膜が第1の光学反射膜に対向するように第2の金薄膜が第1の金薄膜に接合された第2の基板とを備える。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

ファブリペロー型素子において、表面の中央部に第1の光学反射膜が形成され両端にシリコン膜が形成されると共にこのシリコン膜上に第1の金薄膜が形成された第1の基板と、表面の中央部に第2の光学反射膜が形成されると共に両端に第2の金薄膜が形成され前記第2の光学反射膜が前記第1の光学反射膜に対向するように前記第2の金薄膜が前記第1の金薄膜に接合された第2の基板とを備えたことを特徴とするファブリペロー型素子。

IPC (3)：

G02B 26/02 , G02B 5/28 , H01S 5/183

FI (3)：

G02B26/02 E , G02B5/28 , H01S5/183

F-Term (21)：

2H041AA03 , 2H041AA21 , 2H041AB14 , 2H041AB15 , 2H041AC06 , 2H041AZ02 , 2H041AZ03 , 2H041AZ08 , 2H048GA13 , 2H048GA48 , 2H048GA60 , 5F173AC12 , 5F173AC26 , 5F173AC52 , 5F173AR03 , 5F173AR06 , 5F173MC15 , 5F173MD12 , 5F173MD27 , 5F173MD35 , 5F173MD63

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (4)

光変調素子及び光変調素子アレイ並びにそれを用いた露光装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-377046 Applicant：富士写真フイルム株式会社
光変調素子及び光変調素子アレイ並びにそれを用いた露光装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-396578 Applicant：富士写真フイルム株式会社, 富士写真光機株式会社
半導体レーザ装置、半導体レーザモジュールおよび光ファイバ増幅器
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-048679 Applicant：古河電気工業株式会社

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