Pat
J-GLOBAL ID：200903012268928956

光変調素子及び光変調素子アレイ並びにそれを用いた露光装置

Inventor：
沢野 充

About 沢野 充


Applicant, Patent owner：
富士写真フイルム株式会社

About 富士写真フイルム株式会社


Agent (1)： 小栗 昌平 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001377046
Publication number (International publication number)：2003177336
Application date： Dec. 11, 2001
Publication date： Jun. 27, 2003
Summary：
【要約】【課題】 素子自体の光吸収が少なく、高速駆動が可能な高出力、長寿命な光変調素子及び光変調素子アレイ並びにそれを用いた露光装置を提供する。【解決手段】 静電気力によって可動薄膜27を平面基板23に対して変位させ、可動薄膜27を透過する光量を変化させる光変調素子100に対し、可動薄膜27を矩形状に形成して長手方向両端で支持すると共に、可動薄膜27の長手方向中央部に平面電極を有しない可動薄膜側非電極部41を形成し、平面基板23に、可動薄膜側非電極部41と対面する位置に平面電極を有しない基板側非電極部43を形成した。
Claim (excerpt)：
平面基板に間隔を有して可動薄膜を対向配置すると共に、前記基板と前記可動薄膜の双方に平面電極を設け、前記各平面電極への電圧印加により発生する静電気力によって前記可動薄膜を前記平面基板に対して変位させ、前記可動薄膜を透過する光量を変化させる透過型の光変調素子であって、前記可動薄膜は、矩形状に形成され長手方向両端で支持されると共に、前記可動薄膜の長手方向中央部に前記平面電極を有しない可動薄膜側非電極部が形成され、前記平面基板は、前記可動薄膜側非電極部と対面する位置に前記平面電極を有しない基板側非電極部が形成されていることを特徴とする光変調素子。
IPC (8)：
G02B 26/08 ,  B41J 2/445 ,  G03F 7/20 505 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027 ,  H04N 1/036 ,  H04N 1/04 ,  H04N 1/113
FI (9)：
G02B 26/08 A ,  G03F 7/20 505 ,  G03F 7/20 521 ,  H04N 1/036 Z ,  H01L 21/30 515 D ,  H01L 21/30 516 D ,  B41J 3/21 V ,  H04N 1/04 104 Z ,  H04N 1/04 B
F-Term (40)：
2C162AE28 ,  2C162AE40 ,  2C162AE47 ,  2C162FA06 ,  2C162FA09 ,  2C162FA10 ,  2H041AA13 ,  2H041AB40 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ01 ,  2H041AZ05 ,  2H041AZ08 ,  2H097AA03 ,  2H097BB01 ,  2H097CA12 ,  2H097CA17 ,  2H097LA10 ,  5C051AA02 ,  5C051CA07 ,  5C051DA02 ,  5C051DB02 ,  5C051DB04 ,  5C051DB06 ,  5C051DB07 ,  5C051DB22 ,  5C051DB30 ,  5C051DC04 ,  5C051DC07 ,  5C051DE05 ,  5C072AA03 ,  5C072BA03 ,  5C072HA02 ,  5C072HA11 ,  5C072HB15 ,  5C072XA04 ,  5F046BA05 ,  5F046CA03 ,  5F046CB19 ,  5F046CB23 ,  5F046CB27
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (9)
Show all

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM