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J-GLOBAL ID：200903077670834350

被移載体の検出装置

Inventor：
菊地 寿

About 菊地 寿


Applicant, Patent owner：
東京エレクトロン株式会社

About 東京エレクトロン株式会社

, 
東京エレクトロン東北株式会社

About 東京エレクトロン東北株式会社


Agent (1)： 井上 俊夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995041233
Publication number (International publication number)：1996213447
Application date： Feb. 06, 1995
Publication date： Aug. 20, 1996
Summary：
【要約】【目的】 キャリア内の各段における半導体ウエハの有無の検出を速やかに行うこと、及びその検出の途中で昇降部が止まって中断しても、その後キャリアをイニシャル位置まで戻すことなく再開できるようにすること。【構成】 昇降ステージ33により昇降されるキャリアCに対して、各段のウエハWを検出するよう光センサーよりなるウエハの検出部5を設けると共に、昇降ステージ33に、透光部61と非透光部62とが長さ方向に配列された表示部6を垂設し、この表示部6が例えば5個の発受光部71〜75よりなる読み取り手段の光軸を横切ることにより、読み取り手段から、キャリアCの高さ位置情報を得、ウエハの検出部5よりの信号と組み合わせて各段のウエハの有無を認識する。
Claim (excerpt)：
板状の被移載体を上下方向に間隔をおいて収容する容器に対して、昇降部により被移載体の検出部を相対的に昇降させ、前記検出部により容器内における各段の被移載体の有無を検出する被移載体の検出装置において、前記昇降部に設けられ、高さ方向に異なる光学的要素が配列された表示部と、この表示部の昇降路を横切るように光軸が形成され、前記表示部の光学的要素を読み取る読取り手段と、を備え、前記表示部は、前記読取り手段で読み取られた表示が、前記検出部の検出領域における容器の高さ位置を表示するように構成されていることを特徴とする被移載体の検出装置。
IPC (3)：
H01L 21/68 ,  G01D 5/347 ,  H01L 21/66
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)

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