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J-GLOBAL ID：200903077857305106

処理容器用部材

Inventor： 小田野 直水 ,  鈴木 大喜 ,  福田 英二 ,  和田 千春 ,  岸 幸男 ,  大滝 浩通 ,  鈴木 敦
Applicant, Patent owner： 太平洋セメント株式会社 ,  株式会社日本セラテック
Agent (1)： 高山 宏志
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998371941
Publication number (International publication number)：2000191370
Application date： Dec. 28, 1998
Publication date： Jul. 11, 2000
Summary：

【要約】【課題】 腐食性ガス雰囲気、特にフッ化物ガスおよびそのプラズマに対して、十分な耐食性を有し、付着物が脱落しにくい処理容器用部材を提供すること、および、さらに熱衝撃に強い処理容器用部材を提供すること。【解決手段】 その中で腐食性ガスによる処理を行う容器に用いられる処理容器用部材であって、イットリウム-アルミニウム-ガーネットを主要成分とする多結晶セラミックスからなり、かつその容器内面に相当する部分の面粗さRaが1μm超えである。また、これに加え、曲率半径R1が300mm以上の第1の球面部と、この第1の球面部の端部に連続し、かつ曲率半径R2が10mm以上の範囲の第2の球面部とからなる曲面形状部を主体とし、第1の球面部および第2の球面部のいずれか一方が他方に内接しており、この曲面形状部の肉厚が5〜15mmの範囲にある。

Claim (excerpt)：

その中で腐食性ガスによる処理を行う容器に用いられる処理容器用部材であって、イットリウム-アルミニウム-ガーネットを主要成分とする多結晶セラミックスからなり、かつその容器内面に相当する部分の面粗さRaが1μm超えであることを特徴とする処理容器用部材。

IPC (3)：

C04B 35/44 ,  B01J 19/00 ,  H01L 21/3065

FI (3)：

C04B 35/44 ,  B01J 19/00 H ,  H01L 21/302 B

F-Term (19)：

4G031AA08 ,  4G031AA29 ,  4G031AA30 ,  4G031BA09 ,  4G031BA26 ,  4G031CA01 ,  4G075AA24 ,  4G075AA53 ,  4G075BC04 ,  4G075BC06 ,  4G075EB31 ,  4G075EE05 ,  4G075FB04 ,  5F004AA16 ,  5F004BA20 ,  5F004BB13 ,  5F004BB29 ,  5F004DA00 ,  5F004DA01

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 耐プラズマ部材
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-042604   Applicant：京セラ株式会社
• 耐食性部材
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-201566   Applicant：京セラ株式会社