磁気抵抗効果膜

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：眞鍋潔 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999229559
Publication number (International publication number)：2001053353
Application date： Aug. 16, 1999
Publication date： Feb. 23, 2001
Summary：

【要約】【課題】磁気抵抗効果膜に関し、良好な交換結合性を示す交換結合膜を備え、高い交換結合性及び高いシート抵抗変化を示す磁気抵抗効果膜を提供しようとする。【解決手段】膜厚がd1 であるCo85Fe13B2 からなる第一の強磁性膜1及び膜厚がd2 であるCo85Fe13B2 からなる第二の強磁性膜3がRuからなる非磁性金属膜2を挟んで積層されてなる複合膜4と複合膜4に接するPdPtMnからなる反強磁性膜5とで構成され且つ該第一の強磁性膜1の膜厚d1 と第二の強磁性膜3の膜厚d2 とが、1.0〔nm〕≦d1 ≦3.0〔nm〕、1.0〔nm〕≦d2 ≦3.0〔nm〕、d1 ≦d2 、なる関係を維持した交換結合膜を備えている。

Claim (excerpt)：

膜厚がd1 である第一の強磁性膜及び膜厚がd2 である第二の強磁性膜が非磁性金属膜を挟んで積層されてなる複合膜と該複合膜に接する反強磁性膜とで構成され且つ該第一の強磁性膜の膜厚d1 と該第二の強磁性膜の膜厚d2 とが1.0〔nm〕≦d1 ≦3.0〔nm〕1.0〔nm〕≦d2 ≦3.0〔nm〕d1 ≦d2なる関係を維持した交換結合膜を備えてなることを特徴とする磁気抵抗効果膜。

IPC (4)：

H01L 43/08 , G01R 33/09 , G11B 5/39 , H01F 10/32

FI (4)：

H01L 43/08 Z , G11B 5/39 , H01F 10/32 , G01R 33/06 R

F-Term (19)：

2G017AA04 , 2G017AD55 , 2G017AD62 , 2G017AD63 , 2G017AD65 , 5D034BA03 , 5D034BA04 , 5D034CA08 , 5E049AA01 , 5E049AA04 , 5E049AA07 , 5E049AA09 , 5E049AC00 , 5E049AC05 , 5E049BA12 , 5E049BA16 , 5E049CB02 , 5E049DB04 , 5E049DB12

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

磁気抵抗効果膜及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-347219 Applicant：日本電気株式会社
磁気記録再生装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-239267 Applicant：株式会社日立製作所
磁気抵抗効果膜
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-189529 Applicant：三洋電機株式会社

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Article cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

Giant magnetoresistance effect and electric conduction i amorphous-CoFeB/Cu/Co sandwiches

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