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J-GLOBAL ID：200903078041983250
感光性組成物
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
伊藤 武久 (外1名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1997520188
Publication number (International publication number)：2000500883
Application date： Nov. 27, 1996
Publication date： Jan. 25, 2000
Summary：
【要約】本発明はポジティブに現像可能な感光性組成物に関する。従来の組成物は不十分な感光性しか有しておらず、当該組成物の露光層部分が現像の際に完全に除去することができないために、例えば回路基板の銅表面に使用するのに適当でない。本発明に係る感光性組成物では、これら欠点は認められない。フォト酸生成元と側基を備えたポリマー樹脂とを含有し酸を分離可能な種々の組成物が記載される。上記ポリマー樹脂は少なくとも3種の異なるアクリル酸モノマー又はメタクリル酸モノマーを重合化することによって形成される。
Claim (excerpt)：
露光によって現像溶液で不溶性から溶解状態に転換可能な感光性組成物にして、I-少なくとも1種のフォト酸生成元、及びII-以下のモノマーの各割合がポリマーに対するものであって、 A- 8モル%〜20モル%の割合での、化合物アクリル酸とメタクリル酸の群から選択されたモノマー、 B- 19モル%〜70モル%の割合での、化合物アクリル酸tert.-ブチルとメタクリル酸tert.-ブチルの群から選択されたモノマー、 C- 1モル%〜30モル%の割合での、化合物メタクリル酸ヒドロキシエチル、メタクリル酸ヒドロキシプロピル、メタクリル酸ヒドロキシフェノール、アクリル酸ヒドロキシエチル、アクリル酸ヒドロキシプロピル及びアクリル酸ヒドロキシフェノールの群から選択されたモノマーから形成されたポリマーを含有する組成物。
IPC (3)：
G03F 7/039
, G03F 7/027 502
, H01L 21/027
G03F 7/039
, G03F 7/027 502
, H01L 21/30 502 R
Cited by examiner (5)
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