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J-GLOBAL ID：200903079393546426

マウント方法及び装置

Inventor： 佐々木 淳
Applicant, Patent owner： エルピーダメモリ株式会社
Agent (1)： 丸山 隆夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003427371
Publication number (International publication number)：2005191073
Application date： Dec. 24, 2003
Publication date： Jul. 14, 2005
Summary：

【課題】 ペレットをマウントする際にチップにクラックや欠けが発生することを防止したマウント装置及びマウント方法を提供する。【解決手段】 保持したペレット4を実装済みペレット1上に載置し、第1の荷重を負荷して仮圧着する第1のヘッド2と、第1のヘッド2によって仮圧着されたペレット4に対して第1の荷重よりも大きい第2の荷重を負荷して圧着する第2のヘッド7とを有するマウント装置であって、第2のヘッド7は、ペレットごとに未使用の部分が張り渡されるペレット保護シート16と、任意の方向へ回転自在に支持され、ペレット保護シート16を介してペレット4と当接するボール6と、ボール6をペレット保護シート16の側に弾発付勢し、ペレット保護シート16を介してペレット4に第2の荷重を負荷するスプリング11と、ペレット保護シート16を介してペレット4に当接したボール6をペレット保護シート16上で転動させる駆動機構18とを有する。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

保持したワークをフレーム又は実装済みペレット上に載置し、第1の荷重を負荷して仮圧着する第1のヘッドと、前記第1のヘッドによって仮圧着されたワークに対して前記第1の荷重よりも大きい第2の荷重を負荷して圧着する第2のヘッドとを有するマウント装置であって、 前記第2のヘッドは、 ワークごとに未使用の部分が張り渡される保護シートと、 任意の方向へ回転自在に支持され、前記保護シートを介して前記ワークと当接する略球体の押し子と、 該押し子を前記保護シートの側に弾発付勢し、前記保護シートを介して前記ワークに前記第2の荷重を負荷する弾性部材と、 前記保護シートを介して前記ワークに当接した前記押し子を前記保護シート上で転動させる駆動機構とを有することを特徴とするマウント装置。

IPC (1)：

H01L21/52

FI (1)：

H01L21/52 F

F-Term (1)：

5F047FA51

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

• 半導体製造装置およびその駆動方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-317753   Applicant：キヤノン株式会社
• 半導体素子の実装装置および実装方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-302824   Applicant：株式会社東芝