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J-GLOBAL ID：200903079415608439

欠陥検査装置及び方法

Inventor：
佐藤 寛之

About 佐藤 寛之


Applicant, Patent owner：
倉敷紡績株式会社

About 倉敷紡績株式会社


Agent (3)： 河宮 治 ,  和田 充夫 ,  中塚 雅也
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005088827
Publication number (International publication number)：2006267022
Application date： Mar. 25, 2005
Publication date： Oct. 05, 2006
Summary：
【課題】 従来検出が困難であった欠陥部について、その形状や方向性に関係なく検出可能な欠陥検査装置及び方法を提供する。【解決手段】 縞状のパターン190にてなる照射光111を被検査物50へ照射し、被検査物の通過した縞状パターンから、被検査物の欠陥部に応じて現れた欠陥パターン195を検出する。このとき、被検査物に照射する縞状パターンの位置を変更することから、欠陥部の形状や方向性に関係なく欠陥部を検出することができる。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
透過性を有する被検査物(50)を通過した透過光に基づいて上記被検査物の欠陥部(52)を検出する欠陥検査装置において、 縞状のパターン(190)にてなる照射光(111)を上記被検査物へ照射する照射装置(110)と、 上記被検査物を通過した上記縞状パターンを撮像する撮像装置(120)と、 上記撮像装置に接続され、上記縞状パターンから上記欠陥部に応じて現れた欠陥パターン(195)を検出する検出装置(130)と、 を備えたことを特徴とする欠陥検査装置。
IPC (2)：
G01N 21/958 ,  G01B 11/30
FI (3)：
G01N21/958 ,  G01B11/30 A ,  G01B11/30 H
F-Term (44)：
2F065AA49 ,  2F065AA60 ,  2F065BB22 ,  2F065CC02 ,  2F065CC03 ,  2F065CC22 ,  2F065CC23 ,  2F065CC31 ,  2F065DD04 ,  2F065FF04 ,  2F065GG02 ,  2F065GG03 ,  2F065GG07 ,  2F065GG24 ,  2F065HH07 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ25 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL28 ,  2F065LL53 ,  2F065PP02 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065RR09 ,  2F065TT03 ,  2G051AA41 ,  2G051AA42 ,  2G051AA71 ,  2G051AA73 ,  2G051AA84 ,  2G051AB02 ,  2G051BA20 ,  2G051BB07 ,  2G051BC05 ,  2G051BC06 ,  2G051BC07 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CB02 ,  2G051EA08 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (2) Cited by examiner (4)
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