光センサの調整方法および光センサの調整装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：恩田博宣
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997092482
Publication number (International publication number)：1998284712
Application date： Apr. 10, 1997
Publication date： Oct. 23, 1998
Summary：

【要約】【課題】光電変換素子と信号処理回路と回路調整用薄膜抵抗素子とがワンチップ化された光センサにおいて容易に調整を行うことができる光センサの調整方法および光センサの調整装置を提供する。【解決手段】フォトダイオード3の出力端子にアンペアメータ42を設け、基準強度の光をフォトダイオード3に照射し、その時のアンペアメータ42により検出された電流値を記録する。その後、フォトダイオード3の出力端子に電流発生源としての定電流回路を設け、フォトダイオード3に光を照射せず、かつ、定電流回路を用いて前記記録した電流値を信号処理回路8に流した状態で、所望の出力値を得るように薄膜抵抗素子31のレーザトリミングを行う。

Claim (excerpt)：

光を受光して電気信号に変換する光電変換素子と、当該光電変換素子の出力端子からの電流を入力して信号処理を行う信号処理回路と、回路調整用の薄膜抵抗素子とがワンチップ化された光センサの調整方法であって、前記光電変換素子の出力端子に電流検出器を設け、基準強度の光を前記光電変換素子に照射し、その時の前記電流検出器により検出された電流値を記録する工程と、前記光電変換素子の出力端子に電流発生源を設け、前記光電変換素子に光を照射せず、かつ、前記電流発生源を用いて前記記録した電流値を信号処理回路に流した状態で、所望の出力値を得るように前記薄膜抵抗素子のレーザトリミングを行う工程とを備えたことを特徴とする光センサの調整方法。

IPC (4)：

H01L 27/14 , H01L 27/04 , H01L 21/822 , H01L 31/10

FI (4)：

H01L 27/14 Z , H01L 27/04 P , H01L 27/04 V , H01L 31/10 A

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (4)

受光素子アレイ及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-250571 Applicant：沖電気工業株式会社
光電気変換IC
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-084761 Applicant：ローム株式会社
特開昭63-116458

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