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J-GLOBAL ID：200903079720823048

光半導体用窓ガラス

Inventor：
船引 伸夫

About 船引 伸夫


Applicant, Patent owner：
日本電気硝子株式会社

About 日本電気硝子株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996283092
Publication number (International publication number)：1998112568
Application date： Oct. 04, 1996
Publication date： Apr. 28, 1998
Summary：
【要約】【課題】 信頼性の高い光半導体モジュールを効率良く製造できる光半導体用窓ガラスを提供すること。【解決手段】 本発明の光半導体用窓ガラス1は、光半導体用パッケージ3の窓孔部3aに固着される光半導体用窓ガラス1において、該窓ガラスの表面に、第1層としてチタン膜、クロム膜、ニッケルクロム膜から選択される膜2a、第2層としてパラジウム膜2b、第3層として金膜2cからなる固着用の金属多層膜2を備えていることを特徴とする。
Claim (excerpt)：
光半導体用パッケージの窓孔部に固着される光半導体用窓ガラスにおいて、該窓ガラスの表面に、第1層としてチタン膜、クロム膜、まはニッケルクロム膜から選択される膜、第2層としてパラジウム膜、第3層として金膜からなる固着用の金属多層膜を備えていることを特徴とする光半導体用窓ガラス。
IPC (3)：
H01S 3/18 ,  H01L 23/02 ,  H01L 31/02
FI (3)：
H01S 3/18 ,  H01L 23/02 F ,  H01L 31/02 B
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
  • オプトエレクトロニク半導体装置及びその製造方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-289502   Applicant：フィリップスエレクトロニクスネムローゼフェンノートシャップ
  • 光結合装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-136561   Applicant：株式会社日立製作所
  • 特開昭61-265875
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