X線検査装置

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：有我軍一郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005126794
Publication number (International publication number)：2006300887
Application date： Apr. 25, 2005
Publication date： Nov. 02, 2006
Summary：

【課題】ワークを検査しながらのゼロ点補正を可能にし、温度ドリフト等による精度のばらつきを低減させることのできるX線検査装置を提供する。【解決手段】 X線画像に基づいてワークの体積を測定するX線検査装置であって、その処理ユニット6が、各透過領域のX線画像濃度データから透過領域の等価厚画像の濃度データへの変換処理を施すデータ変換処理部62と、等価厚画像の濃度データに基づいて複数の透過領域におけるワークの体積を測定する体積測定部63と、X線透過量相当のデータを処理して、ワークにX線が照射されるときの背景の等価厚をゼロとするようX線画像濃度データをゼロ点補正するゼロ点補正部61とを含み、ゼロ点補正部61が、ワークの体積を測定する周期に応じてゼロ点補正を実行する。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

ワークを搬送する搬送路(1)と、搬送中の前記ワークに所定の検査空間内でX線を照射するX線源(2)と、前記検査空間内で前記搬送方向と直交する方向で隣り合う複数の透過領域のそれぞれについて前記ワークを透過したX線を検出することができるX線検出器(4)と、前記X線検出器の検出情報に基づき、前記ワークを透過したX線の前記透過領域毎の透過量相当のデータを処理してディジタルのX線画像を生成する処理ユニット(6)と、を備え、前記X線画像に基づいて前記ワークの体積を測定するX線検査装置であって、前記処理ユニット(6)が、前記各透過領域におけるX線画像の濃度データ(P)から前記透過領域のそれぞれにおける前記ワークの厚さに対応する等価厚画像の濃度データ(Q(P))への変換処理を施すデータ変換処理手段(62)と、前記複数の透過領域のそれぞれに対応する前記等価厚画像の濃度データに基づいて前記複数の透過領域における前記ワークの体積を測定する体積測定手段(63)と、前記X線透過量相当のデータを処理して、前記ワークに前記X線が照射されるときの背景の等価厚をゼロとするよう前記X線画像の濃度データをゼロ点補正するゼロ点補正部(61)と、を含み、前記ゼロ点補正部(61)が、前記ワークの体積を測定する周期に応じて、前記ゼロ点補正を実行することを特徴とするX線検査装置。

IPC (3)：

G01B 15/00 , G01F 25/00 , G01N 23/04

FI (3)：

G01B15/00 A , G01F25/00 Z , G01N23/04

F-Term (42)：

2F067AA00 , 2F067AA58 , 2F067AA62 , 2F067EE11 , 2F067FF17 , 2F067GG07 , 2F067HH04 , 2F067HH12 , 2F067JJ03 , 2F067KK06 , 2F067LL03 , 2F067LL14 , 2F067LL16 , 2F067NN03 , 2F067PP15 , 2F067RR08 , 2F067RR12 , 2F067RR29 , 2F067RR40 , 2F067SS03 , 2G001AA01 , 2G001BA11 , 2G001CA01 , 2G001DA01 , 2G001DA02 , 2G001DA08 , 2G001FA01 , 2G001FA06 , 2G001FA09 , 2G001FA14 , 2G001FA16 , 2G001GA03 , 2G001HA10 , 2G001JA09 , 2G001JA13 , 2G001JA16 , 2G001KA05 , 2G001KA20 , 2G001LA01 , 2G001PA03 , 2G001PA11 , 2G001SA02

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (4)

米国特許第6,215,845号公報
米国特許第6,347,131号公報
米国特許第5,585,603号公報

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Cited by examiner (3)

X線による質量測定方法及びX線質量測定装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-096625 Applicant：アンリツ株式会社
特開昭62-187202
X線透視検査装置および方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-249618 Applicant：株式会社東芝

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