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J-GLOBAL ID：200903080047758385

真空ポンプ

Inventor： 奥寺 智 ,  坂口 祐幸 ,  前島 靖
Applicant, Patent owner： ビーオーシーエドワーズテクノロジーズ株式会社
Agent (1)： 和田 成則
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001352252
Publication number (International publication number)：2003148388
Application date： Nov. 16, 2001
Publication date： May. 21, 2003
Summary：

【要約】【課題】 ポンプ異常が発生し破壊トルクが生じた場合であっても、ポンプとチャンバ間を連結する締結ボルトの折損を防止する。【解決手段】 上面に吸気口2を、下部一側部に排気口3を形成したポンプケース1と、ケース1内に立設されたステータコラム5にロータ軸7を介して回転可能に支持され、かつ外周に多段にロータ翼10を多段に配置したロータ9と、ケース1の内周部にあって前記ロータ翼10と交互に多段に固定配置されたステータ翼11と、前記ロータ軸7とステータコラム5の間に設けた駆動モータ8とを備え、前記ケース1の上部周縁に設けたフランジ1aを真空チャンバ14の下部開口周縁に複数のボルト15を介して連結した真空ポンプにおいて、前記フランジ1aに開口形成されたボルト挿通孔20が、前記チャンバ14の取付面側に向けて拡開する複数の段20a、20b、20c付孔となっている。

Claim (excerpt)：

上面に吸気口を、下部一側部に排気口を形成したポンプケースと、上記ポンプケース内に立設されたステータコラムにロータ軸を介して回転可能に支持されるとともに、外周に多段にロータ翼を配置したロータと、上記ポンプケース内周部にあって上記ロータ軸と交互に多段に固定配置されたステータ翼と、上記ロータ軸とステータコラムの間に設けた駆動モータと、上記ポンプケースの上部周縁に設けたフランジをチャンバの下部開口周縁に連結する複数のボルトとを備え、上記フランジに開口形成されたボルト挿通孔が、上記チャンバの取付面側に向けて拡開する複数の段付孔となっていることを特徴とする真空ポンプ。

IPC (3)：

F04D 19/04 ,  F04D 29/52 ,  F04D 29/60

FI (5)：

F04D 19/04 H ,  F04D 19/04 G ,  F04D 29/52 B ,  F04D 29/52 E ,  F04D 29/60 H

F-Term (20)：

3H031DA01 ,  3H031DA02 ,  3H031DA07 ,  3H031EA09 ,  3H031FA31 ,  3H031FA39 ,  3H034AA01 ,  3H034AA02 ,  3H034AA12 ,  3H034BB01 ,  3H034BB08 ,  3H034BB11 ,  3H034BB16 ,  3H034BB17 ,  3H034CC03 ,  3H034DD01 ,  3H034DD20 ,  3H034DD28 ,  3H034DD30 ,  3H034EE17

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• ターボ分子ポンプ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-250517   Applicant：三菱重工業株式会社
• ターボ分子ポンプ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-081101   Applicant：株式会社島津製作所