静電リレー

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：青山葆 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999119754
Publication number (International publication number)：2000311572
Application date： Apr. 27, 1999
Publication date： Nov. 07, 2000
Summary：

【要約】【課題】小型であっても応答性に優れ、低い駆動電圧で動作する上、接点間の転移やバウンスの発生を抑制可能な静電リレーを提供する。【解決手段】固定基板1にキャップ部材3を設けることにより内部空間を封止する。そして、内部空間の内圧を、大気圧よりも小さく、かつ、電子の平均自由行程が接点間距離よりも短くなる値とする。

Claim (excerpt)：

固定電極を有する固定基板に、可動電極を有する可動基板を対向配設し、両電極間に電圧を印加して静電引力を発生させることにより可動基板を駆動し、該可動基板に設けた可動接点を、前記固定基板に設けた固定接点に閉成するようにした静電リレーにおいて、前記固定基板にキャップ部材を設けることにより封止した内部空間の内圧を大気庄よりも小さく、かつ、電子の平均自由行程が接点間距離よりも短くなる値としたことを特徴とする静電リレー。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

マイクロリレー
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-319100 Applicant：オムロン株式会社
マイクロ波マルチポート転送スイッチ
Gazette classification：公表公報 Application number：特願平7-528971 Applicant：テレダインインダストリーズ,インコーポレーテッド
マイクロリレー、その製造方法およびその制御方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-313444 Applicant：オムロン株式会社

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