マイクロリレー

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：青山葆 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996319100
Publication number (International publication number)：1998162713
Application date： Nov. 29, 1996
Publication date： Jun. 19, 1998
Summary：

【要約】【課題】所望の接点圧と接点間距離とを同時に確保しつつ、接点がオンするときの抵抗が小さく、耐振性,周波数特性,絶縁性に優れた超小型マイクロリレーを提供することにある。【解決手段】単結晶シリコンの薄板状基材からなり、かつ、一方に湾曲するように両端部を固定支持した可動部23の表裏面中央部に可動接点25および27をそれぞれを設ける。一方、この可動接点25および27に接離可能に対向する一対の固定接点31,32および11,12を、前記可動部23に対向する固定基板30および10の対向面にそれぞれ形成するとともに、前記固定接点31,32および11,12の周囲近傍に駆動電極33,34および13,14をそれぞれ設ける。

Claim (excerpt)：

単結晶の薄板状基材からなり、一方に湾曲するように少なくとも両端部を固定支持した可動部の表裏面のうち、少なくとも片面中央部に可動接点を設ける一方、この可動接点に接離可能に対向する一対の固定接点を、前記可動部に対向する固定基板の対向面に形成するとともに、前記固定接点の周囲近傍に駆動手段を設けたことを特徴とするマイクロリレー。

IPC (2)：

H01H 59/00 , H01L 41/09

FI (2)：

H01H 59/00 , H01L 41/08 C

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

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Gazette classification：公表公報 Application number：特願平9-528164 Applicant：フラウンホーファー-ゲゼルシャフトツールフェルデルングデァアンゲヴァンテンフォルシュングアインゲトラーゲネルフェライン
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