CW深紫外線光源

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：園田吉隆 , 小林義教
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004259075
Publication number (International publication number)：2006073970
Application date： Sep. 06, 2004
Publication date： Mar. 16, 2006
Summary：

【課題】レーザーヘッド部の小型化を実現した紫外線レーザー装置を提供する。【解決手段】少なくとも2つのレーザー光を用いて和周波混合により、波長200nm以下のCWレーザー光を発生させる装置であって、前記少なくとも2つのレーザー光のうち、少なくとも一方のレーザー光はファイバーレーザーである装置を提供する。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

2つのレーザー光を非線形光学結晶により和周波混合を行い、紫外域波長のCWレーザー光を発生させる装置であって、前記2つのレーザー光のうち、少なくとも一方のレーザー光はファイバーレーザーである装置。

IPC (3)：

H01S 3/108 , G02F 1/37 , H01S 3/06

FI (3)：

H01S3/108 , G02F1/37 , H01S3/06 B

F-Term (10)：

2K002AA07 , 2K002AB12 , 2K002BA01 , 2K002HA20 , 5F172AD02 , 5F172AM08 , 5F172CC04 , 5F172NP02 , 5F172NQ09 , 5F172NQ62

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

波長変換装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-054119 Applicant：サイバーレーザー株式会社

Cited by examiner (13)

光源装置及び光照射装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-162004 Applicant：株式会社ニコン
波長変換装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-054119 Applicant：サイバーレーザー株式会社
光源装置及び光照射装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-359428 Applicant：株式会社ニコン

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